Forno CVD e PECVD
Forno tubular Slide PECVD com gasificador líquido Máquina PECVD
Número do item : KT-PE12
O preço varia com base em especificações e personalizações
- Temperatura máxima
- 1200 ℃
- Temperatura de trabalho constante
- 1100 ℃
- Diâmetro do tubo do forno
- 60 mm
- Comprimento da zona de aquecimento
- 1x450 mm
- Taxa de aquecimento
- 0-20 ℃/min
- Distância de deslizamento
- 600 mm
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O sistema KT-PE12 Slide PECVD com gaseificador líquido é composto por uma fonte de plasma RF de 500W, um forno deslizante TF-1200, 4 unidades de controlo preciso de gás MFC e uma estação de vácuo padrão. Sistema de deslizamento do trilho da câmara do forno, que pode realizar o propósito de aquecimento rápido e resfriamento rápido, ventilador de circulação de ar forçado auxiliar opcional pode ser instalado para acelerar a taxa de resfriamento; movimento deslizante opcional funcionando automaticamente; max. A temperatura de trabalho é de até 1200 ℃, o tubo do forno é um tubo de quartzo de 60 mm de diâmetro; Medidor de fluxo de massa MFC de 4 canais com fontes de gás de CH4, H2, O2 e N2; A estação de vácuo é uma bomba de vácuo de palhetas rotativas 4L / S, máx. A pressão de vácuo é de até 10Pa.
Vantagens
- Fonte de plasma RF de correspondência automática, ampla gama de potência de saída de 5-500W, saída estável
- Sistema de deslizamento da câmara do forno para aquecimento de alta velocidade e arrefecimento de curta duração, arrefecimento rápido auxiliar e movimento de deslizamento automático estão disponíveis
- Controlo de temperatura programável PID, excelente precisão de controlo e suporte de controlo remoto e controlo centralizado
- Controlo de caudalímetro de massa MFC de alta precisão, pré-mistura de gases de origem e velocidade de fornecimento de gás estável
- Flange de vácuo de aço inoxidável com várias portas de adaptação para atender a diferentes configurações de estação de bomba de vácuo, boa vedação e alto grau de vácuo
- O CTF Pro aplica um controlador de ecrã tátil TFT de 7 polegadas, configuração de programa mais amigável e análise de dados históricos
Diferentes sistemas CVD de temperatura e configuração disponíveis
Vantagens em termos de segurança
- O forno tubular Kindle Tech possui proteção contra sobrecarga de corrente e função de alarme de temperatura excessiva, o forno desliga-se automaticamente
- O forno possui uma função de deteção de pares térmicos, o forno pára de aquecer e o alarme é ativado quando é detectada uma avaria ou falha
- PE Pro suporta a função de reinício de falha de energia, o forno retomará o programa de aquecimento do forno quando a energia é recebida após a falha
Especificações técnicas
| Modelo do forno | KT-PE12-60 |
| Temperatura máxima | 1200℃ |
| Temperatura de trabalho constante | 1100℃ |
| Material do tubo do forno | Quartzo de alta pureza |
| Diâmetro do tubo do forno | 60mm |
| Comprimento da zona de aquecimento | 1x450mm |
| Material da câmara | Fibra de alumina do Japão |
| Elemento de aquecimento | Bobina de fio Cr2Al2Mo2 |
| Taxa de aquecimento | 0-20℃/min |
| Par térmico | Construído em tipo K |
| Controlador de temperatura | Controlador PID digital/controlador PID com ecrã tátil |
| Precisão do controlo de temperatura | ±1℃ |
| Distância de deslizamento | 600mm |
| Unidade de plasma RF | |
| Potência de saída | 5 -500W ajustável com estabilidade de ± 1% |
| Frequência de RF | 13,56 MHz ±0,005% de estabilidade |
| Potência de reflexão | 350W máx. |
| Emparelhamento | Automático |
| Ruído | <50 dB |
| Arrefecimento | Arrefecimento a ar. |
| Unidade de controlo de precisão do gás | |
| Medidor de caudal | Medidor de caudal mássico MFC |
| Canais de gás | 4 canais |
| Caudal | MFC1: 0-5SCCM O2 MFC2: 0-20SCMCH4 MFC3: 0- 100SCCM H2 MFC4: 0-500 SCCM N2 |
| Linearidade | ±0,5% F.S. |
| Repetibilidade | ±0,2% F.S. |
| Tubagem e válvula | Aço inoxidável |
| Pressão máxima de funcionamento | 0,45MPa |
| Controlador do caudalímetro | Controlador de botão digital/controlador de ecrã tátil |
| Unidade de vácuo standard (opcional) | |
| Bomba de vácuo | Bomba de vácuo de palhetas rotativas |
| Caudal da bomba | 4L/S |
| Porta de aspiração de vácuo | KF25 |
| Medidor de vácuo | Vacuómetro de silicone Pirani/Resistance |
| Pressão de vácuo nominal | 10Pa |
| Unidade de alto vácuo (opcional) | |
| Bomba de vácuo | Bomba de palhetas rotativas+Bomba molecular |
| Caudal da bomba | 4L/S+110L/S |
| Porta de aspiração de vácuo | KF25 |
| Medidor de vácuo | Medidor de vácuo composto |
| Pressão de vácuo nominal | 6x10-5Pa |
| As especificações e configurações acima podem ser personalizadas | |
Pacote padrão
| Não. | Descrição | Quantidade |
| 1 | Forno | 1 |
| 2 | Tubo de quartzo | 1 |
| 3 | Flange de vácuo | 2 |
| 4 | Bloco térmico do tubo | 2 |
| 5 | Gancho do bloco térmico do tubo | 1 |
| 6 | Luva resistente ao calor | 1 |
| 7 | Fonte de plasma RF | 1 |
| 8 | Controlo preciso do gás | 1 |
| 9 | Unidade de vácuo | 1 |
| 10 | Manual de instruções | 1 |
Configuração opcional
- Deteção e monitorização de gases no tubo, como H2, O2, etc.
- Monitorização e registo independentes da temperatura do forno
- Porta de comunicação RS 485 para controlo remoto por PC e exportação de dados
- Controlo do caudal de alimentação de gases de inserção, como o caudalímetro de massa e o caudalímetro de flutuador
- Controlador de temperatura de ecrã tátil com funções versáteis e fáceis de utilizar
- Instalação de bombas de alto vácuo, como bomba de vácuo de palhetas, bomba molecular, bomba de difusão
Avisos
A segurança do operador é a questão mais importante! Por favor, opere o equipamento com cautelas. Trabalhar com gases inflamáveis, explosivos ou tóxicos é muito perigoso, os operadores devem tomar todas as precauções necessárias antes de iniciar o equipamento. Trabalhar com pressão positiva dentro dos reactores ou câmaras é perigoso, o operador deve seguir rigorosamente os procedimentos de segurança. Extra também deve ser tido cuidado ao operar com materiais reativos ao ar, especialmente sob vácuo. Uma fuga pode aspirar ar para dentro do aparelho e provocar ocorrer uma reação violenta.
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FAQ
O Que é O Método PECVD?
O Que é O Mpcvd?
Para Que é Utilizado O PECVD?
O Que é A Máquina Mpcvd?
Quais São As Vantagens Do PECVD?
Quais São As Vantagens Do Mpcvd?
Qual é A Diferença Entre ALD E PECVD?
Os Diamantes CVD São Reais Ou Falsos?
Qual é A Diferença Entre PECVD E Pulverização Catódica?
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