O revestimento CVD (Chemical Vapor Deposition) é um processo que envolve a aplicação de uma camada fina de material num substrato.
A gama de temperaturas para o revestimento CVD varia normalmente entre 600 e 1100°C.
Os processos CVD normais são frequentemente efectuados entre 600°C e 800°C.
Esta temperatura elevada é necessária para a decomposição das espécies gasosas que contêm o elemento de revestimento.
Estas espécies gasosas são depois depositadas no substrato.
No entanto, estas temperaturas podem causar efeitos térmicos no material do substrato.
Por exemplo, o aquecimento dos aços para a fase de austenite.
Isto requer um tratamento térmico pós-revestimento para otimizar as propriedades do substrato.
5 Principais conclusões
1. Intervalo de temperatura CVD padrão
A faixa de temperatura padrão para revestimento CVD é entre 600°C e 800°C.
2. Funcionamento a temperaturas mais baixas do PECVD
O PECVD (deposição de vapor químico enriquecido com plasma) funciona a uma gama de temperaturas mais baixa, desde a temperatura ambiente até 350°C.
Isto reduz o risco de danos no dispositivo ou no substrato.
Também minimiza o stress entre camadas de película fina com diferentes coeficientes de expansão térmica.
3. Revestimentos CVD térmicos
Os revestimentos CVD térmicos são normalmente aplicados a substratos como o aço para ferramentas ou o carboneto cimentado.
Estes substratos podem suportar temperaturas de processo elevadas, entre 800 e 1000°C.
4. Revestimentos PVD e PACVD
Os revestimentos PVD (Physical Vapor Deposition) e PACVD (Plasma-Assisted Chemical Vapor Deposition) são depositados a temperaturas mais baixas.
Estes métodos não têm as limitações do CVD a alta temperatura e são frequentemente preferidos para a produção de películas resistentes ao desgaste em componentes de engenharia.
5. Desafios e desenvolvimentos na CVD
Apesar dos desafios associados às altas temperaturas na CVD, esta continua a ser a escolha preferida para muitas aplicações.
O desenvolvimento da tecnologia CVD está cada vez mais centrado na obtenção de baixas temperaturas e condições de elevado vácuo.
Isto ajuda a mitigar os problemas relacionados com a deposição a alta temperatura, tais como a deformação de peças e alterações na estrutura do material.
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