A deposição química de vapor (CVD) é um processo utilizado para depositar películas finas ou revestimentos num substrato através da reação química de precursores gasosos.
O princípio da CVD envolve três etapas principais: evaporação de um composto volátil, decomposição térmica ou reação química do vapor no substrato e deposição dos produtos de reação não voláteis.
Este processo requer normalmente temperaturas elevadas e intervalos de pressão específicos para facilitar as reacções e garantir um revestimento uniforme.
Qual é o princípio da Deposição Química de Vapor? (3 etapas principais explicadas)
1. Evaporação de um composto volátil
Na primeira etapa, um precursor volátil, que é um composto da substância a ser depositada, é evaporado.
Este precursor é normalmente um halogeneto ou hidreto que é escolhido com base no material desejado a ser depositado no substrato.
O processo de evaporação prepara o precursor para as reacções subsequentes.
2. Decomposição térmica ou reação química
Quando o precursor se encontra no estado gasoso, é introduzido numa câmara de reação onde é submetido a temperaturas elevadas (frequentemente cerca de 1000°C).
A estas temperaturas, o precursor sofre uma decomposição térmica ou reage com outros gases presentes na câmara.
Esta reação decompõe o precursor em átomos e moléculas que estão prontos para a deposição.
3. Deposição de produtos de reação não voláteis
Os átomos e moléculas resultantes da decomposição ou reação depositam-se no substrato aquecido.
Esta deposição forma uma película fina ou um revestimento que se acumula uniformemente ao longo do tempo.
Os produtos não voláteis da reação aderem ao substrato, enquanto quaisquer precursores e subprodutos que não tenham reagido são removidos da câmara.
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