A temperaturas mais elevadas, a deposição de átomos em superfícies envolve vários processos complexos, incluindo a decomposição térmica, as reacções de superfície e a migração de adátomos. O aumento da temperatura aumenta a mobilidade dos adátomos, o que pode levar à formação de películas mais uniformes e densas, mas também introduz o risco de reacções parasitas que podem dar origem a impurezas.
Decomposição térmica e reacções de superfície:
A temperaturas mais elevadas, os compostos voláteis da substância a depositar são mais facilmente evaporados. Estes vapores sofrem então uma decomposição térmica em átomos e moléculas ou reagem com outros gases na superfície do substrato. Este processo é crucial, uma vez que influencia diretamente a composição e a estrutura da película depositada. Por exemplo, a decomposição do amoníaco numa superfície metálica ilustra a forma como os precursores moleculares se decompõem em átomos elementares, que são essenciais para o crescimento da película. A taxa desta decomposição, e consequentemente a taxa de deposição, é influenciada pela temperatura e pela pressão do processo.Migração e Nucleação de Adátomos:
Os adátomos elementares criados através de reacções de superfície são altamente móveis a temperaturas elevadas. Migram através da superfície do substrato até encontrarem locais de alta energia, tais como vacâncias atómicas, arestas da rede ou locais de dobragem em superfícies cristalinas. Em superfícies não cristalinas, outros tipos de sítios de superfície aprisionam os adátomos. Esta migração e eventual nucleação em sítios específicos são fundamentais para a formação de uma película uniforme e contínua. As temperaturas mais elevadas facilitam esta migração, conduzindo potencialmente a uma nucleação mais eficiente e a uma melhor qualidade da película.
Reacções parasitárias e impurezas:
Apesar dos benefícios das temperaturas mais elevadas, estas condições também aumentam a probabilidade de reacções parasitas na superfície do material. Estas reacções podem produzir impurezas que podem prejudicar as propriedades da camada em crescimento. Por exemplo, a formação de compostos indesejados ou o aprisionamento de subprodutos pode levar a defeitos na película, afectando as suas propriedades eléctricas, mecânicas ou ópticas.
Impacto na estrutura e nas propriedades da película:
