A evaporação sob vácuo é uma técnica utilizada principalmente na microeletrónica para depositar películas finas de materiais sólidos em substratos específicos. Este processo envolve o aquecimento do material sólido, conhecido como evaporante, num ambiente de alto vácuo. O evaporante transforma-se em vapor e depois condensa-se no substrato, formando uma película fina. Este método é crucial para a criação de componentes activos, contactos de dispositivos, interligações metálicas e vários tipos de resistências e condensadores de película fina.
Mecanismo de evaporação a vácuo:
O princípio fundamental por detrás da evaporação no vácuo é a redução do ponto de ebulição dos materiais sob pressão reduzida. No vácuo, a pressão atmosférica é significativamente mais baixa do que ao nível do mar, o que permite que os materiais se vaporizem a temperaturas muito mais baixas. Isto é particularmente benéfico para materiais sensíveis que se podem degradar sob calor elevado.Aplicação em microeletrónica:
No campo da microeletrónica, a evaporação em vácuo é utilizada para depositar películas finas que servem várias funções. Por exemplo, é utilizada para criar interligações metálicas em circuitos integrados, que são essenciais para a condutividade eléctrica. Além disso, é utilizada para depositar resistências de película fina de coeficiente de baixa temperatura, que são cruciais para manter uma resistência eléctrica estável numa gama de temperaturas.
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Tipos de evaporação a vácuo:
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A referência menciona dois tipos específicos: evaporação paralela e evaporação rotativa.Evaporação paralela:
Esta técnica envolve a criação de um vórtice nos tubos de amostra para aumentar a área de superfície para evaporação. O movimento giratório ajuda a uma vaporização mais rápida. Os sistemas avançados incorporam bombas de vácuo e aquecedores para acelerar ainda mais o processo e uma armadilha fria para recolher os gases do solvente, minimizando a perda de amostras e a contaminação cruzada.
Evaporação rotativa:
A evaporação rotativa é normalmente utilizada para remover solventes com baixo ponto de ebulição das amostras. Funciona através da rotação de um frasco de amostra num banho aquecido sob pressão reduzida. A rotação assegura uma maior área de superfície para evaporação e a pressão reduzida diminui o ponto de ebulição do solvente, permitindo a sua evaporação a temperaturas mais baixas. Este método é particularmente útil para separar solventes de misturas complexas e sensíveis sem danificar o soluto.
