MPCVD
Equipamento de Sistema de Máquina HFCVD para Revestimento de Nano-Diamante em Matriz de Trefilação
Número do item : MP-CVD-100
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Aplicação
O princípio de funcionamento da deposição química em fase vapor de diamante HFCVD é: misturar uma atmosfera contendo carbono com hidrogênio supersaturado, ativá-la de uma certa maneira e, em seguida, passá-la através de uma certa composição atmosférica, energia de ativação, temperatura do substrato e a distância entre o substrato e a fonte de ativação, etc. Sob essas condições, um filme de diamante é depositado na superfície inferior. Geralmente acredita-se que a nucleação e o crescimento de filmes de diamante podem ser divididos em três estágios:
- Gás contendo carbono e gás de radônio decompõem-se em átomos de carbono, hidrogênio e outros grupos livres ativos a uma certa temperatura. Eles se combinam com a matriz para formar primeiro uma camada de transição de carbeto muito fina.
- Átomos de carbono depositam núcleos de diamante na camada de transição formada no substrato.
- O núcleo de cristal de diamante formado cresce em um microitem de diamante sob um ambiente adequado e, em seguida, cresce em um filme de diamante.
Detalhes e Peças
Especificações Técnicas
| Composição técnica HFCVD | ||
| Parâmetros Técnicos | Composição do Equipamento | Configuração do Sistema |
| Câmara de Vácuo: Diâmetro 500mm, Altura 550mm, câmara de aço inoxidável SUS304; isolamento interno de pele de aço inoxidável, altura de elevação é de 350mm; | Um conjunto de corpo principal da câmara de vácuo (câmara de vácuo) (estrutura de resfriamento a água encamisada) | Corpo principal da câmara de vácuo (câmara de vácuo); A cavidade é feita de aço inoxidável 304 de alta qualidade; Câmara de vácuo vertical: a jaqueta de resfriamento a água é instalada em toda a periferia da câmara de vácuo. A parede interna da câmara de vácuo é isolada com pele de aço inoxidável, e a câmara de vácuo é fixada na lateral. Posicionamento preciso e estável; Janela de observação: disposta horizontalmente no meio da câmara de vácuo Janela de observação de 200mm, resfriamento a água, defletor, configuração lateral e superior com ângulo de chanfro de 45 graus, janela de observação de 50° (observa o mesmo ponto da janela de observação horizontal e da plataforma de suporte da amostra); as duas janelas de observação mantêm a posição e o tamanho existentes. O fundo da câmara de vácuo fica 20mm acima do plano da bancada, com resfriamento configurado; os furos reservados no plano, como válvulas grandes, válvulas de purga, medição de pressão de ar, válvulas de bypass, etc., são selados com malha metálica e reservados para a instalação de interfaces de eletrodos; |
| Mesa do Equipamento: C1550* L900*A1100mm | Um conjunto de dispositivo de mesa de arrasto de amostra (adotando acionamento de eixo duplo) | Dispositivo de suporte de amostra: Suporte de amostra de aço inoxidável (resfriamento a água por soldagem) dispositivo de 6 posições; pode ser ajustado separadamente, apenas ajuste para cima e para baixo, a faixa de ajuste para cima e para baixo é de 25mm, e o balanço esquerdo e direito deve ser inferior a 3% ao subir e descer (ou seja, o balanço esquerdo e direito de subir ou descer 1mm é inferior a 0,03mm), e o estágio da amostra não gira ao subir ou descer. |
| Grau de vácuo final: 2,0×10-1Pa; | Um conjunto de sistema de vácuo | Sistema de vácuo: Configuração do sistema de vácuo: bomba mecânica + válvula de vácuo + válvula de purga física + tubo de exaustão principal + bypass; (fornecido pelo fornecedor da bomba de vácuo), a válvula de vácuo usa uma válvula pneumática; Medição do sistema de vácuo: Pressão de membrana. |
| Taxa de aumento de pressão: ≤5Pa/h; | Sistema de fornecimento de gás com medidor de fluxo de massa de dois canais | Sistema de fornecimento de gás: O medidor de fluxo de massa é configurado pela Parte B, entrada de ar bidirecional, o fluxo é controlado pelo medidor de fluxo de massa, após a junção dos dois canais, entra na câmara de vácuo por cima, e o interior do tubo de entrada de ar é de 50mm |
| Movimento da mesa da amostra: faixa de subida e descida é de ± 25m; é necessário um rácio de balanço esquerdo e direito ao subir e descer de ± 3%; | Um conjunto de dispositivo de eletrodo (2 canais) | Dispositivo de eletrodo: A direção longitudinal dos quatro furos de eletrodo é paralela à direção longitudinal da plataforma de suporte, e a direção longitudinal está voltada para a janela de observação principal com um diâmetro de 200mm. |
| Pressão de trabalho: usa manômetro de membrana, faixa de medição: 0 ~ 10kPa; funciona constantemente em 1kPa ~ 5kPa, a variação do valor de pressão constante é de mais ou menos 0,1kPa; | Um conjunto de sistema de água de resfriamento | Sistema de água de resfriamento: A câmara de vácuo, os eletrodos e a placa inferior estão equipados com tubulações de resfriamento por circulação de água e um dispositivo de alarme de fluxo de água insuficiente 3.7: sistema de controle. Interruptores, instrumentos, medidores e fonte de alimentação para elevação da câmara de vácuo, purga, bomba de vácuo, linha principal, bypass, alarme, fluxo, pressão de ar, etc. estão localizados na lateral do suporte e são controlados por uma tela sensível ao toque de 14 polegadas; o equipamento possui um programa de controle totalmente automático sem intervenção manual e pode armazenar dados e chamar dados. |
| Posição de entrada de ar: entrada de ar na parte superior da câmara de vácuo, e a posição da porta de exaustão está localizada diretamente abaixo do suporte da amostra; | Sistema de controle | |
| Sistema de Controle: Controlador PLC + tela sensível ao toque de 10 polegadas | Um conjunto de sistema automático de controle de pressão (válvula de controle de pressão original importada da Alemanha) | |
| Sistema de inflação: medidor de fluxo de massa de 2 canais, faixa de fluxo: 0-2000sccm e 0-200sccm; válvula pneumática | Medidor de Vácuo de Resistência | |
| 3.1.10 Bomba de vácuo: bomba de vácuo D16C | ||
Vantagens
A matriz de trefilação com revestimento composto de nano-diamante utiliza carboneto cimentado (WC-Co) como substrato e o método de deposição química em fase vapor (método CVD, em resumo) para revestir o diamante convencional e o revestimento composto de nano-diamante na superfície do furo interno da matriz. E um produto totalmente novo obtido após retificação e polimento do revestimento. O revestimento composto de nano-diamante aplicado na superfície do furo interno não só possui as características de forte adesão e resistência ao desgaste do revestimento de diamante convencional, mas também as vantagens de superfície plana e lisa do revestimento de nano-diamante, baixo coeficiente de atrito e fácil retificação e polimento. A tecnologia de revestimento não só resolve o problema técnico da adesão do revestimento, mas também rompe o gargalo de que a superfície do revestimento de diamante não é fácil de polir, e remove os obstáculos para a industrialização do filme de diamante CVD.
|
Indicadores Técnicos |
Matriz de trefilação tradicional |
Matriz de trefilação revestida com nano diamante |
|
Tamanho do Grão da Superfície de Revestimento |
nenhum |
20~80nm |
|
Conteúdo de Diamante no Revestimento |
nenhum |
≥99% |
|
Espessura do Revestimento de Diamante |
nenhum |
10 ~ 15mm |
|
Rugosidade da Superfície |
Ra≤0.1mm |
Classe A: Ra≤0.1mm Classe B: Ra≤0.05mm |
|
Faixa de diâmetro do furo interno da matriz de trefilação revestida |
Ф3 ~ Ф70mm |
Ф3 ~ Ф70mm |
|
Vida útil |
A vida útil depende das condições de trabalho |
6-10 vezes maior |
|
Coeficiente de atrito superficial |
0.8 |
0.1 |
- Para o paralelismo e retilinidade da plataforma de elevação da matriz do equipamento, nossa empresa produziu especialmente ferramentas especiais. O método de elevação biaxial é suficiente para permitir que as duas extremidades sejam elevadas e abaixadas em cerca de ±2 fios, de modo que matrizes menores possam ser feitas.
- Para as ferramentas do equipamento, nossa empresa integra a localização de cada empresa nas ferramentas, visando as ferramentas e o processo da matriz. Boas ferramentas e fixação, estáveis e confiáveis, alta precisão, fáceis de operar.
- Para a válvula de corte do equipamento, outros fabricantes usam válvulas de defletor, que não podem ser ajustadas linearmente (ou seja, a folga aumenta rapidamente assim que é aberta). Nossa empresa a projeta de acordo com o princípio da válvula de corte e controle de pressão estável, de modo que a folga de corte possa ser ajustada linearmente para alcançar um controle de pressão estável;
- O sistema de controle totalmente automático controla automaticamente a pressão de acordo com algoritmos de computador; pode reduzir a aleatoriedade do operador e tornar o processo mais confidencial. Economiza mão de obra e a consistência da qualidade da matriz de especificações iguais é mais ideal;
- Para a estabilidade da câmara de vácuo de elevação, nossa empresa usa rolamentos autolubrificantes, que tornam a rotação mais flexível e livre de travamentos. Processo básico, o revestimento de diamante pode ser feito de acordo com o processo de revestimento de diamante de cada cliente.
Avisos
A segurança do operador é a questão mais importante! Por favor, opere o equipamento com cautelas. Trabalhar com gases inflamáveis, explosivos ou tóxicos é muito perigoso, os operadores devem tomar todas as precauções necessárias antes de iniciar o equipamento. Trabalhar com pressão positiva dentro dos reactores ou câmaras é perigoso, o operador deve seguir rigorosamente os procedimentos de segurança. Extra também deve ser tido cuidado ao operar com materiais reativos ao ar, especialmente sob vácuo. Uma fuga pode aspirar ar para dentro do aparelho e provocar ocorrer uma reação violenta.
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