A deposição química de vapor (CVD) é um processo utilizado para depositar materiais em película fina a partir da fase de vapor através de uma reação química.
Este método é utilizado para criar uma vasta gama de películas finas, incluindo semicondutores, isoladores, metais e materiais orgânicos.
Estas películas são cruciais para o fabrico de dispositivos microelectrónicos e optoelectrónicos, bem como para vários revestimentos.
As películas produzidas podem ser epitaxiais, policristalinas ou amorfas, e a deposição pode ser selectiva ou não selectiva, envolvendo homo ou heteroepitaxia.
O que é o processo de deposição química em fase vapor para películas finas? (4 etapas principais explicadas)
1. Evaporação de compostos precursores
A primeira etapa envolve a evaporação de um composto volátil do material a ser depositado.
Este composto, normalmente um gás ou vapor, é introduzido na câmara de deposição.
2. Decomposição térmica e reação química
O vapor sofre uma decomposição térmica em átomos e moléculas ou reage com outros gases, vapores ou líquidos na superfície do substrato.
Esta etapa requer condições específicas, incluindo temperaturas elevadas (cerca de 1000°C) e pressões que vão desde alguns torr até acima da pressão atmosférica.
3. Deposição no substrato
Os produtos de reação não voláteis da etapa anterior são então depositados no substrato, formando uma película fina.
As propriedades desta película, tais como a composição, a espessura e a microestrutura, são cruciais para o desempenho específico da sua aplicação.
4. Classificação e aplicações
A CVD distingue-se dos métodos de deposição física de vapor (PVD), que envolvem processos físicos como a pulverização catódica, a evaporação ou a sublimação sem reacções químicas.
O objetivo tanto da CVD como da PVD é depositar películas com propriedades controladas e reproduzíveis, que podem ser químicas, mecânicas, eléctricas ou ópticas.
A CVD é particularmente conhecida pela sua precisão e controlo, permitindo a criação de películas finas com caraterísticas muito específicas.
É amplamente utilizado no fabrico de semicondutores, em células solares de película fina e na produção de revestimentos para ferramentas e outros bens industriais.
O processo é adaptável a vários produtos químicos e precursores, o que o torna versátil para diferentes aplicações e futuros avanços tecnológicos.
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