As películas finas são depositadas utilizando várias técnicas, incluindo a deposição física de vapor (PVD), a deposição química de vapor (CVD) e a deposição de camada atómica (ALD). Estes métodos permitem um controlo preciso da espessura e da composição das películas, que são cruciais para as suas aplicações específicas.
Deposição Física de Vapor (PVD):
A PVD envolve a evaporação ou pulverização catódica do material de origem, que depois se condensa no substrato para formar uma película fina. Este processo inclui técnicas como a evaporação, a evaporação por feixe de electrões e a pulverização catódica. Na evaporação, o material é aquecido até se transformar em vapor e depois deposita-se no substrato. A evaporação por feixe de electrões utiliza um feixe de electrões para aquecer o material, enquanto a pulverização catódica envolve o bombardeamento de um material alvo com iões para ejetar átomos que depois se depositam no substrato.Deposição química de vapor (CVD):
A CVD utiliza reacções químicas para depositar um revestimento fino num substrato. O substrato é exposto a gases precursores que reagem e depositam a substância desejada. Os métodos comuns de CVD incluem a CVD a baixa pressão (LPCVD) e a CVD com plasma (PECVD). Estas técnicas permitem a deposição de materiais complexos e um controlo preciso das propriedades da película.
Deposição em camada atómica (ALD):
A ALD é um método altamente preciso que permite a deposição de películas uma camada atómica de cada vez. O substrato é exposto alternadamente a determinados gases precursores num processo cíclico. Este método é particularmente útil para criar películas uniformes e conformes, mesmo em geometrias complexas.Aplicações de películas finas:
As películas finas têm uma vasta gama de aplicações, desde o aumento da durabilidade e da resistência a riscos das superfícies até à alteração da condutividade eléctrica ou da transmissão de sinais. Por exemplo, o revestimento refletor de um espelho é uma película fina, normalmente depositada através de técnicas de pulverização catódica.
