Os metais que podem ser revestidos por pulverização catódica incluem o ouro, o carbono, o tungsténio, o irídio, o crómio, a platina, o paládio, a prata, o óxido de alumínio, o óxido de ítrio, o óxido de índio e estanho (ITO), o óxido de titânio, o nitreto de tântalo e o gadolínio. Estes materiais são escolhidos pelas suas propriedades específicas, como a condutividade, a dimensão do grão e a compatibilidade com técnicas analíticas como o EDX.
O ouro é historicamente o material mais comum para revestimento por pulverização catódica devido à sua elevada condutividade e pequena granulometria, que é ideal para imagiologia de alta resolução. É particularmente preferido em aplicações em que a condutividade eléctrica e a interferência mínima com a imagem são cruciais.
O carbono é utilizado quando é necessária uma análise de raios X por dispersão de energia (EDX), porque o seu pico de raios X não entra em conflito com os picos de outros elementos, garantindo uma análise exacta da composição elementar da amostra.
O tungsténio, o irídio e o crómio são materiais mais recentes utilizados para revestimento por pulverização catódica, especialmente quando é necessária uma imagem de resolução ultra-alta. Estes metais têm tamanhos de grão ainda mais finos do que o ouro, melhorando a resolução e a clareza das imagens obtidas.
Platina, paládio e prata são também utilizados, tendo a prata a vantagem de ser reversível, o que pode ser particularmente útil em determinadas configurações experimentais em que o revestimento pode ter de ser removido ou alterado sem danificar a amostra.
O óxido de alumínio, o óxido de ítrio, o óxido de índio e estanho (ITO), o óxido de titânio, o nitreto de tântalo e o gadolínio são outros materiais utilizados para o revestimento por pulverização catódica. Estes materiais são escolhidos pelas suas propriedades específicas, como a resistência química, a condutividade eléctrica e as propriedades ópticas. Por exemplo, o ITO é utilizado pela sua transparência e condutividade, o que o torna ideal para ecrãs electrónicos.
Em resumo, a escolha do metal para revestimento por pulverização catódica depende dos requisitos específicos da aplicação, incluindo a necessidade de condutividade, resolução, compatibilidade com técnicas analíticas e as propriedades físicas ou químicas do material de revestimento.
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