A deposição de vapor químico (CVD) é um processo que envolve a reação controlada de moléculas precursoras gasosas numa superfície de substrato aquecida para depositar uma película fina ou um revestimento. Este método permite a produção de materiais de alta qualidade com propriedades desejáveis, tais como pureza, dureza e resistência a danos.
Explicação das 6 etapas principais
1. Transporte de espécies gasosas em reação para a superfície
As moléculas precursoras gasosas utilizadas na CVD são transportadas para a superfície de um substrato ou material aquecido. Este transporte pode ocorrer através de um gás de arrastamento ou por difusão.
2. Adsorção das espécies na superfície
As moléculas precursoras são adsorvidas na superfície do substrato. Esta adsorção ocorre devido às forças de atração entre as moléculas precursoras e a superfície do substrato.
3. Reacções Heterogéneas Catalisadas pela Superfície
Uma vez adsorvidas, as moléculas precursoras sofrem reacções químicas na superfície do substrato. Estas reacções podem ser catalisadas pelo próprio substrato ou por um revestimento catalisador na superfície do substrato.
4. Difusão superficial das espécies para os locais de crescimento
Os produtos da reação ou as espécies intermédias formadas na superfície podem difundir-se através da superfície do substrato para alcançar locais de crescimento. Estes locais de crescimento são tipicamente regiões de maior energia ou reatividade na superfície.
5. Nucleação e crescimento da película
Nos locais de crescimento, os produtos da reação ou as espécies intermédias formam núcleos, que actuam como pontos de partida para o crescimento da película desejada. A película continua então a crescer à medida que mais moléculas precursoras reagem e se depositam na superfície do substrato.
6. Dessorção de produtos de reação gasosos e transporte de produtos de reação para fora da superfície
Durante o processo de deposição, os produtos gasosos da reação, bem como as moléculas precursoras que não reagiram, são dessorvidos da superfície do substrato. Estes produtos de reação são então transportados para longe da superfície, normalmente através da utilização de um gás de transporte ou de um sistema de vácuo.
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