O processo CVD (Chemical Vapor Deposition) é um método sofisticado utilizado para criar películas finas em substratos.
Envolve várias etapas críticas para garantir que a película desejada seja depositada com precisão e eficiência.
Quais são os 6 passos principais envolvidos no processo CVD?
1. Alimentação do precursor
Os precursores químicos são introduzidos no reator de CVD.
Estes precursores podem ser gases ou vapores que irão reagir para formar a película fina desejada no substrato.
2. Transporte para a superfície do substrato
Uma vez no interior do reator, as moléculas precursoras têm de ser transportadas para a superfície do substrato.
Isto é normalmente conseguido através de uma combinação de transporte de fluidos e difusão.
3. Adsorção
As moléculas precursoras que atingem a superfície do substrato devem então adsorver-se a ela.
A adsorção é o processo pelo qual as moléculas precursoras aderem à superfície.
4. Reacções de superfície
Uma vez adsorvidas, as moléculas precursoras sofrem reacções químicas na superfície do substrato ou na sua proximidade.
Estas reacções podem ser térmicas ou assistidas por plasma, dependendo do método CVD específico utilizado.
5. Dessorção
Após as reacções à superfície, as moléculas de subprodutos e as moléculas de precursores que não reagiram devem ser dessorvidas da superfície do substrato.
Isto permite que haja espaço para a entrada de mais moléculas precursoras para continuar o processo de deposição.
6. Tratamento de resíduos
O processo CVD pode produzir materiais residuais, subprodutos e gases precursores que não reagiram.
Estes têm de ser tratados e removidos da câmara de reação para manter um ambiente limpo e evitar a contaminação.
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