A deposição de vapor químico (CVD) é um método altamente versátil e rápido de produzir revestimentos densos e puros com espessura uniforme.
É uma abordagem de baixo para cima que envolve uma reação química de um precursor químico gasoso impulsionado por calor ou plasma para produzir películas finas num substrato.
5 pontos-chave a saber
1. Elevadas taxas de deposição
A CVD é um método relativamente rápido de deposição de películas finas.
Oferece taxas de deposição elevadas, especialmente quando o plasma é utilizado para melhorar o processo de deposição.
2. Deposição em fase vapor por processo químico enriquecida com plasma (PECVD)
A deposição de vapor químico enriquecida com plasma (PECVD) permite taxas de deposição mais elevadas a uma temperatura reduzida do substrato, uma vez que os reagentes se encontram sob a forma de plasma.
Este facto torna-a adequada para a deposição de películas finas de materiais como o nitreto de silício, o silício amorfo e o silício microcristalino em vários substratos.
3. Deposição de vapor químico a laser
A velocidade do processo CVD também pode ser aumentada utilizando a deposição de vapor químico por laser.
Neste método, é utilizado um feixe de laser para aquecer uma parte do substrato, fazendo com que a deposição ocorra mais rapidamente no lado aquecido.
4. Vantagens adicionais
Para além das suas taxas de deposição rápidas, a deposição de vapor químico oferece várias outras vantagens.
É um método de revestimento relativamente económico e pode ser utilizado para revestir vários elementos e compostos.
Os revestimentos resultantes têm um elevado grau de pureza e uma adesão louvável.
O processo também permite um revestimento uniforme e, uma vez que é um processo sem linha de visão, não requer uma linha de visão direta entre o material alvo e o substrato, tornando possível revestir várias peças numa única reação.
5. Aplicações
Além disso, a deposição química de vapor tem a capacidade de criar camadas ultra-finas, tornando-a ideal para aplicações que requerem revestimentos finos, tais como circuitos eléctricos.
Em geral, a deposição de vapor químico é um método versátil, rápido e eficiente de deposição de película fina com várias vantagens sobre outras técnicas de deposição.
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