A pulverização catódica por magnetrão é um processo de revestimento versátil utilizado para depositar películas finas de vários materiais.
Estas películas variam tipicamente entre alguns nanómetros e um máximo de 5 micrómetros de espessura.
Este processo é altamente preciso, permitindo uma uniformidade de espessura com variações inferiores a 2% ao longo do substrato.
5 Principais Informações sobre a Espessura do Revestimento por Magnetron Sputtering
1. Visão geral do processo
A pulverização catódica por magnetrão envolve a utilização de um material alvo.
Este material alvo, como metais, ligas ou compostos, é bombardeado com iões energéticos provenientes de gases inertes como o árgon ou o hélio.
Este bombardeamento ejecta átomos do alvo, que depois se depositam num substrato, formando uma película fina.
O processo é conduzido no vácuo para garantir a deposição eficiente dos materiais sem contaminação.
2. Controlo da espessura
A espessura da película depositada pode ser controlada com precisão através de vários parâmetros.
Estes parâmetros incluem a tensão de pulverização catódica, a corrente e a taxa de deposição.
Por exemplo, num revestimento por pulverização catódica magnetrónica moderno típico, a taxa de deposição pode variar entre 0 e 25 nm/min.
Isto permite a criação de películas tão finas como 10 nm com um excelente tamanho de grão e um aumento mínimo da temperatura.
Este nível de controlo garante que o revestimento é uniforme e adere bem ao substrato.
3. Aplicações e materiais
O processo é utilizado em várias indústrias para criar revestimentos com propriedades específicas.
Estas propriedades incluem resistência ao desgaste, baixa fricção, resistência à corrosão e propriedades ópticas ou eléctricas específicas.
Os materiais mais comuns utilizados na pulverização catódica por magnetrão incluem a prata, o cobre, o titânio e vários nitretos.
Estes materiais são escolhidos com base nas propriedades funcionais desejadas para o revestimento final.
4. Uniformidade e precisão
Uma das vantagens significativas da pulverização catódica por magnetrões é a sua capacidade de atingir uma elevada uniformidade na espessura da película.
Isto é crucial para aplicações em que é necessário um controlo preciso da espessura, como na eletrónica ou na ótica.
O processo pode manter as variações de espessura abaixo dos 2%, garantindo um desempenho consistente em toda a superfície revestida.
5. Utilização comercial e industrial
Em ambientes comerciais, a pulverização catódica com magnetrões é utilizada para aplicar revestimentos que são essenciais para a funcionalidade dos produtos.
Por exemplo, na indústria vidreira, os revestimentos por pulverização catódica são utilizados para criar vidro de baixa emissividade (Low E), que é essencial para edifícios energeticamente eficientes.
Estes revestimentos são normalmente multicamadas, sendo a prata uma camada ativa comum devido às suas propriedades ópticas.
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