A deposição química em fase vapor (CVD) é um processo químico utilizado para produzir materiais sólidos de elevada pureza e elevado desempenho, frequentemente sob a forma de películas finas.
O processo envolve a exposição de um substrato a um ou mais precursores voláteis, que reagem e/ou se decompõem na superfície do substrato para produzir o depósito desejado.
Os subprodutos voláteis também são normalmente produzidos e removidos pelo fluxo de gás através da câmara de reação.
O que é o método CVD de deposição química em fase vapor? (6 pontos-chave explicados)
1. Visão geral do processo
Na CVD, o substrato (como uma bolacha semicondutora) é colocado numa câmara de reação.
A câmara é então preenchida com um ou mais gases reactivos, conhecidos como gases precursores.
Estes gases são cuidadosamente selecionados com base nas propriedades desejadas do material final a depositar.
2. Reacções químicas
Os gases precursores sofrem reacções químicas entre si ou com a superfície do substrato.
Estas reacções ocorrem normalmente a temperaturas elevadas, que contribuem para a decomposição e reação dos gases precursores.
As reacções conduzem à formação de uma película sólida sobre o substrato.
3. Parâmetros de controlo
A qualidade e a taxa de deposição são controladas por vários parâmetros, incluindo a concentração e o caudal dos gases precursores, a temperatura da câmara de reação e a pressão no interior da câmara.
Estes parâmetros são ajustados para otimizar o processo de deposição para aplicações específicas.
4. Subprodutos e remoção
Durante as reacções, formam-se subprodutos voláteis.
Estes subprodutos são removidos da câmara de reação por um fluxo de gás, o que ajuda a manter a pureza do material depositado e evita a contaminação.
5. Tipos de CVD
Os processos de CVD podem ser classificados com base na forma como as reacções químicas são iniciadas.
Os tipos mais comuns incluem a CVD térmica de parede quente, a CVD assistida por plasma e outros.
Cada tipo tem as suas aplicações e vantagens específicas, dependendo do material e das propriedades desejadas da película depositada.
6. Aplicações
A CVD é amplamente utilizada em processos de microfabricação para depositar materiais em várias formas, como monocristalina, policristalina, amorfa e epitaxial.
Estes materiais são utilizados em semicondutores, dispositivos ópticos e revestimentos protectores, entre outras aplicações.
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