Equipe técnica · Kintek Solution

Para limpar um revestidor de pulverização catódica, siga estes passos detalhados:

1. Limpeza da câmara de trabalho:

   • Limpeza da câmara de vidro: Utilizar água quente com sabão para limpar bem a câmara de vidro. Assegure-se de que está completamente seca. Se houver depósitos persistentes, pode ser utilizado um esfregão de cozinha. Evite utilizar solventes, uma vez que são desnecessários e representam riscos para a saúde e segurança.
   • Limpeza da superfície metálica: Limpe as superfícies metálicas com álcool isopropílico. Evite utilizar acetona devido aos seus riscos para a saúde e segurança e ao seu tempo de libertação de gases mais longo, que pode afetar o desempenho do aspirador.

2. Manutenção do vácuo:

   • Prevenir a sucção: Isolar sempre a bomba de desbaste do revestidor quando a câmara está sob vácuo. Isto é feito normalmente usando uma válvula manual. Por exemplo, os revestidores de pulverização catódica de alto vácuo da Quorum têm um dispositivo de "retenção da bomba" que mantém o vácuo quando o instrumento não está a ser utilizado, evitando a contaminação do óleo da bomba.
   • Secura do sistema e nível de vácuo: Assegurar que o sistema está seco e atinge o nível de vácuo correto antes de iniciar o processo de pulverização catódica. Isto ajuda a obter uma boa taxa de pulverização e evita a contaminação.
   • Manutenção da bomba: Regularmente, as bombas rotativas de lastro e a sua manutenção em intervalos regulares para manter um desempenho ótimo.

3. Limpeza da pulverização:

   • Sputtering físico: Utilize a pulverização física em vácuo para limpar as superfícies de sólidos de contaminantes. Este método é normalmente utilizado em ciência de superfícies, deposição a vácuo e revestimento iónico. No entanto, tenha cuidado com potenciais problemas como sobreaquecimento, incorporação de gás, danos na superfície e rugosidade. Certifique-se de que o plasma está limpo para evitar a recontaminação durante a limpeza por pulverização catódica.

Ao aderir a estas práticas de limpeza e manutenção, o desempenho e a longevidade do revestidor por pulverização catódica podem ser significativamente melhorados.

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