A limpeza de um revestidor por pulverização catódica é crucial para manter o seu desempenho e longevidade.
Aqui está um guia detalhado para o ajudar no processo.
Como é que se limpa um revestidor por pulverização catódica? - 3 passos essenciais para manter o seu equipamento em boa forma
1. Limpeza da câmara de trabalho
Limpeza da câmara de vidro: Utilize água quente com sabão para limpar bem a câmara de vidro.
Assegure-se de que está completamente seca.
Se houver depósitos persistentes, pode ser utilizado um esfregão de cozinha.
Evite utilizar solventes, uma vez que são desnecessários e representam riscos para a saúde e segurança.
Limpeza da superfície metálica: Limpe as superfícies metálicas com álcool isopropílico.
Evite utilizar acetona devido aos seus riscos para a saúde e segurança e ao seu maior tempo de libertação de gases, que pode afetar o desempenho do aspirador.
2. Manutenção do vácuo
Prevenir a sucção: Isolar sempre a bomba de desbaste do revestidor quando a câmara está sob vácuo.
Isto é feito normalmente usando uma válvula manual.
Por exemplo, os revestidores de pulverização catódica de alto vácuo da Quorum têm um dispositivo de "retenção da bomba" que mantém o vácuo quando o instrumento não está a ser utilizado, evitando a contaminação do óleo da bomba.
Secura do sistema e nível de vácuo: Assegurar que o sistema está seco e atinge o nível de vácuo correto antes de iniciar o processo de pulverização catódica.
Isto ajuda a obter uma boa taxa de pulverização e evita a contaminação.
Manutenção da bomba: As bombas rotativas de lastro e a sua manutenção são efectuadas em intervalos regulares para manter um desempenho ótimo.
3. Limpeza de pulverização
Sputtering físico: Utilizar a pulverização física em vácuo para limpar as superfícies de sólidos de contaminantes.
Este método é normalmente utilizado em ciência de superfícies, deposição a vácuo e revestimento iónico.
No entanto, tenha cuidado com potenciais problemas como sobreaquecimento, incorporação de gás, danos na superfície e rugosidade.
Certifique-se de que o plasma está limpo para evitar a recontaminação durante a limpeza por pulverização catódica.
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