O nível de vácuo de um evaporador térmico é normalmente mantido a uma pressão de 10^-5 Torr ou inferior. Este ambiente de alto vácuo é crucial para o processo de evaporação térmica, garantindo que o caminho livre médio das moléculas evaporadas é suficientemente longo para evitar colisões com moléculas de gás na câmara, o que poderia afetar negativamente a qualidade da película depositada.
Explicação:
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Importância do vácuo na evaporação térmica:
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A evaporação térmica é um processo em que os materiais são aquecidos numa câmara de vácuo até que os átomos da sua superfície ganhem energia suficiente para saírem da superfície e se depositarem num substrato. O ambiente de vácuo é essencial porque permite que os átomos ou moléculas evaporados se desloquem da fonte para o substrato sem colisões significativas, mantendo a sua integridade direcional e, consequentemente, a qualidade do revestimento.Níveis óptimos de vácuo:
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O nível de vácuo ótimo para a evaporação térmica é normalmente de cerca de 10^-5 Torr. A esta pressão, o caminho livre médio das moléculas é de aproximadamente 1 metro, o que é suficiente para a maioria das configurações de evaporação térmica em que a distância entre a fonte de evaporação e o substrato varia entre 200 mm e 1 metro. Isto assegura que as partículas evaporadas podem percorrer a distância sem se desviarem significativamente do seu trajeto devido a colisões.
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Configuração do sistema de vácuo:
Os evaporadores térmicos modernos utilizam frequentemente bombas turbomoleculares, que são capazes de atingir estas baixas pressões de forma rápida e eficiente. Estas bombas são normalmente apoiadas por bombas de palhetas rotativas, bombas de rolagem a seco ou bombas de raízes de múltiplos estágios, que ajudam a evacuar a câmara da pressão atmosférica para a pressão de base necessária para a operação. A configuração é concebida para minimizar a queda de detritos na bomba e para manter um ambiente de vácuo limpo e eficiente.
Controlo e monitorização:
