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Crisol de Feixe de Elétrons, Crisol de Feixe de Canhão de Elétrons para Evaporação

Peças para deposição de película fina

Crisol de Feixe de Elétrons, Crisol de Feixe de Canhão de Elétrons para Evaporação

Número do item : KES01

O preço varia com base em especificações e personalizações


Material
Tântalo / Molibdénio / Tungsténio
Especificação
4CC / 7CC /15CC / 25CC / 40CC
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Aplicação

O canhão de elétrons produz um feixe poderoso de elétrons que é direcionado para o cadinho. Os elétrons aquecem o material no cadinho até que ele se torne átomos ou aglomerados moleculares. Essa nuvem pode então ser depositada em uma superfície para formar um filme fino. Na evaporação por feixe de canhão de elétrons, o cadinho é como um vaso que contém e aquece o material a ser depositado. É feito de material especial que pode suportar altas temperaturas sem derreter. Eles ajudam a focar o calor no material que está evaporando.

É usado principalmente para o seguinte:

  • Deposição de filme fino: Amplamente utilizado em tecnologias de deposição de filme fino, como evaporação por feixe de elétrons, produção de filme fino de dispositivos eletrônicos, revestimento óptico e modificação de superfície de materiais.
  • Indústria de semicondutores: deposição de filmes metálicos finos como interconexões, contatos ôhmicos e barreiras de difusão.
  • Óptica e Optoeletrônica: Revestimentos ópticos, revestimentos antirreflexo e espelhos para vários dispositivos ópticos.

Detalhe e Peças

Crisol de Feixe de Elétrons; Crisol de Molibdênio/Tungstênio
Crisol de Molibdênio/Tungstênio
Crisol de nitreto de boro
Crisol de nitreto de boro
Crisol de grafite
Crisol de grafite
Crisol de cerâmica
Crisol de cerâmica

 

Especificações técnicas

produto Crisol de Molibdênio/Tungstênio Crisol de Nitreto de Boro/Crisol de Nitreto de Boro Condutivo Crisol de Grafite/Crisol de Grafite Revestido Crisóis Revestidos de Grafite Pirolítica Crisol de Níquel Crisol de Titânio Crisol de Cobre Crisol de Alumina
Especificação 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC 4CC / 7CC 4CC 4CC 4CC / 2CC / 40CC 4CC

Os crisóis que mostramos estão disponíveis em diferentes tamanhos e tamanhos personalizados estão disponíveis mediante solicitação.

Vantagem

  • Taxa de evaporação mais alta.
  • Melhora a estabilidade térmica; aquecimento uniforme.
  • Reduz o calor transferido para o cadinho; bom desempenho de isolamento térmico.
  • Permite trocas rápidas de material para minimizar o tempo de inatividade da câmara.
  • Compatibilidade com vácuo; membrana de alta pureza.
  • Versatilidade; suporta múltiplos materiais.
  • Minimiza danos e manutenção do cadinho.
  • Essas vantagens tornam o cadinho de feixe de canhão de elétrons uma ferramenta importante no processo de deposição de filme fino, fornecendo controle preciso, alta taxa de deposição e filme fino de alta qualidade para várias indústrias e campos de pesquisa.

FAQ

O Que São Fontes De Evaporação Térmica?

As fontes de evaporação térmica são dispositivos utilizados em sistemas de evaporação térmica para depositar películas finas em substratos. Funcionam através do aquecimento de um material (evaporante) a altas temperaturas, provocando a sua evaporação e posterior condensação num substrato, formando uma película fina.

Comparação Entre A Evaporação Térmica E A Evaporação Por Feixe De Electrões.

A evaporação por feixe de electrões tem muitas vantagens em relação à evaporação térmica. É capaz de fundir materiais a temperaturas muito elevadas, mesmo tungsténio, grafite...; fácil de controlar a taxa de evaporação, combinada com um sensor de cristal de quartzo como sinal de feedback para ajustar a corrente do feixe de electrões para evaporar mais material sem quebrar o vácuo. A evaporação por feixe de electrões é, portanto, utilizada no domínio do processamento de películas finas, incluindo semicondutores, ótica, painéis solares, vidro e vidro arquitetónico, para conferir as propriedades condutoras, reflectoras, transmissivas e electrónicas desejadas.

Quais São Os Principais Tipos De Fontes De Evaporação Térmica?

Os principais tipos de fontes de evaporação térmica incluem fontes de evaporação resistivas, fontes de evaporação por feixe de electrões e fontes de evaporação flash. Cada tipo utiliza métodos diferentes para aquecer o evaporante, como o aquecimento resistivo, o aquecimento por feixe de electrões ou o contacto direto com uma superfície quente.

Como é Que As Fontes De Evaporação Térmica Funcionam?

As fontes de evaporação térmica funcionam através da passagem de corrente eléctrica através de um material resistivo, que aquece a altas temperaturas. Este calor é transferido para o evaporante, fazendo-o derreter e vaporizar. O vapor viaja então através de uma câmara de vácuo e condensa-se num substrato, formando uma película fina.

Quais São Os Materiais Comuns Utilizados Para Cadinhos De Evaporação?

Os cadinhos de evaporação são normalmente fabricados a partir de materiais como o tungsténio, o tântalo, o molibdénio, a grafite ou compostos cerâmicos. Estes materiais têm pontos de fusão elevados e boa condutividade térmica, o que os torna adequados para as condições de alta temperatura exigidas durante a evaporação. A escolha do material do cadinho depende de factores como o material evaporante, as propriedades desejadas da película e os parâmetros do processo.

Quais São As Vantagens Da Utilização De Fontes De Evaporação Térmica?

As vantagens das fontes de evaporação térmica incluem elevadas taxas de deposição, boa direccionalidade, excelente uniformidade e compatibilidade com vários materiais. São também relativamente simples e económicas, tornando-as adequadas para uma vasta gama de aplicações na deposição de película fina.

Quais São As Vantagens De Utilizar Cadinhos De Evaporação?

Os cadinhos de evaporação oferecem várias vantagens nos processos de deposição de película fina. Proporcionam um ambiente controlado para a evaporação de materiais, permitindo um controlo preciso da espessura e uniformidade da película. Os cadinhos podem suportar temperaturas elevadas e proporcionar uma transferência de calor eficiente, garantindo taxas de evaporação consistentes. Estão disponíveis em vários tamanhos e formas para se adaptarem a diferentes sistemas de evaporação e configurações de substrato. Os cadinhos de evaporação também permitem a deposição de uma vasta gama de materiais, incluindo metais, semicondutores e cerâmicas. Podem ser facilmente carregados e descarregados, facilitando mudanças rápidas de material ou ajustes de processo. Em geral, os cadinhos de evaporação são ferramentas essenciais nas técnicas de deposição de película fina, oferecendo versatilidade, fiabilidade e reprodutibilidade.

Para Que Aplicações São Utilizadas As Fontes De Evaporação Térmica?

As fontes de evaporação térmica são utilizadas em várias aplicações, como a produção de revestimentos ópticos, dispositivos semicondutores e vários tipos de películas finas. São particularmente úteis em indústrias que requerem um controlo preciso da deposição de materiais em substratos.

Como é Que Os Cadinhos De Evaporação Devem Ser Manuseados E Mantidos?

Os cadinhos de evaporação devem ser manuseados e mantidos com cuidado para garantir a sua longevidade e desempenho. Os cadinhos devem ser cuidadosamente limpos antes de cada utilização para remover qualquer material residual de deposições anteriores. Evitar a utilização de materiais abrasivos que possam danificar a superfície do cadinho. Durante o carregamento e descarregamento, manusear os cadinhos com luvas limpas ou ferramentas especializadas para evitar a contaminação. Quando não estiverem a ser utilizados, armazenar os cadinhos num ambiente seco e limpo para evitar a corrosão ou a degradação. A inspeção regular dos cadinhos quanto a fissuras, defeitos ou sinais de desgaste é importante para evitar falhas inesperadas durante o processo de evaporação. Siga as recomendações do fabricante para quaisquer procedimentos de manutenção específicos, como recozimento ou tratamento de superfície, para prolongar a vida útil do cadinho.
Veja mais perguntas frequentes sobre este produto

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