A evaporação térmica é utilizada para depositar películas finas de metais e não metais em substratos num ambiente de alto vácuo. Esta técnica é particularmente útil para aplicações que envolvem contactos eléctricos e dispositivos de película fina, como OLEDs, células solares e transístores de película fina.
Resumo da resposta:
A evaporação térmica é uma técnica de deposição física de vapor que envolve o aquecimento de um material até ao seu ponto de evaporação num ambiente de alto vácuo, fazendo com que vaporize e se deposite como uma película fina num substrato. Este método é versátil e pode ser usado para depositar uma ampla gama de materiais, incluindo metais como alumínio, prata e ouro, bem como não-metais.
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Explicação pormenorizada:
- Visão geral do processo:Aquecimento:
- O material a ser depositado é aquecido numa câmara de alto vácuo usando aquecimento joule, normalmente através de um barco resistivo ou bobina. Este aquecimento é efectuado até o material atingir o seu ponto de evaporação, altura em que começa a vaporizar.Vaporização:
- Quando o material se vaporiza, forma uma nuvem de vapor dentro da câmara. Mesmo uma pressão de vapor relativamente baixa é suficiente para criar esta nuvem devido ao ambiente de vácuo, que minimiza as colisões e reacções com outros átomos.Deposição:
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O material vaporizado viaja através da câmara e deposita-se num substrato posicionado acima da fonte. O substrato é normalmente colocado virado para baixo, na direção da fonte aquecida, para garantir um revestimento eficiente.
- Aplicações:Contactos eléctricos:
- A evaporação térmica é normalmente utilizada para depositar metais simples, como a prata ou o alumínio, para contactos eléctricos. Estes metais são escolhidos pela sua condutividade e capacidade de formar contactos estáveis e de baixa resistência.Dispositivos de película fina:
- Esta técnica também é utilizada no fabrico de dispositivos de película fina, como OLEDs, células solares e transístores de película fina. Por exemplo, pode ser utilizada para depositar camadas de contacto metálicas que são cruciais para o desempenho destes dispositivos.Deposições complexas:
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As aplicações mais avançadas envolvem a co-deposição de múltiplos componentes. Isto é conseguido através do controlo cuidadoso das temperaturas de cadinhos individuais contendo diferentes materiais, permitindo a deposição simultânea de vários materiais.
- Versatilidade de materiais:
A evaporação térmica pode depositar uma grande variedade de materiais, incluindo, mas não se limitando a, alumínio, prata, níquel, crómio, magnésio e ouro. Esta versatilidade torna-a adequada para uma vasta gama de aplicações industriais e científicas.Revisão e correção:
