O processo de tratamento de superfície por pulverização catódica é uma técnica de deposição física de vapor (PVD) que envolve a ejeção de átomos de um material alvo sólido e a deposição desses átomos como um revestimento de película fina num substrato. O processo é efectuado utilizando um plasma gasoso, que é um gás parcialmente ionizado.
Segue-se uma explicação passo a passo do processo de pulverização catódica:
1. É preparada uma câmara de vácuo e o material de revestimento alvo (cátodo) e o substrato (ânodo) são colocados no interior da câmara.
2. É introduzido na câmara um gás inerte, como o árgon, o néon ou o crípton. Este gás formará o plasma necessário para o processo de pulverização catódica.
3. Uma fonte de energia aplica uma diferença de potencial ou uma excitação electromagnética para ionizar os átomos de gás, dando-lhes uma carga positiva.
4. Os iões de gás carregados positivamente são atraídos para o material alvo carregado negativamente. Estes iões colidem com a superfície do alvo, transferindo a sua energia e provocando a ejeção de átomos do material alvo.
5. Os átomos ejectados do material alvo encontram-se num estado neutro e atravessam a câmara de vácuo.
6. Os átomos neutros depositam-se então na superfície do substrato, formando um revestimento de película fina. A película pulverizada apresenta uma excelente uniformidade, densidade, pureza e aderência.
7. A taxa de pulverização catódica, que é a taxa a que os átomos são ejectados do alvo e depositados no substrato, depende de vários factores, como a corrente, a energia do feixe e as propriedades físicas do material alvo.
A pulverização catódica é amplamente utilizada em várias indústrias para o tratamento de superfícies e a deposição de películas finas. É normalmente utilizada para depositar películas finas de semicondutores, CDs, unidades de disco e dispositivos ópticos. A técnica permite a produção de ligas e compostos de composição precisa por pulverização catódica reactiva. As películas resultantes têm excelentes propriedades e podem ser utilizadas numa série de aplicações.
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