O impacto da temperatura do substrato nas propriedades da película pode ser resumido da seguinte forma:
1. Fase cristalina: O aumento da temperatura do substrato pode levar a alterações na fase cristalina da película fina. Por exemplo, um aumento da temperatura pode causar uma transformação de uma fase amorfa para uma fase cristalina.
2. Tamanho do cristalito: Uma temperatura mais elevada do substrato pode resultar numa diminuição do tamanho dos cristalitos na película fina. Isto deve-se ao aumento da difusão e do crescimento da rede cristalina a temperaturas mais elevadas.
3. Proporção estequiométrica: A temperatura do substrato também afecta a proporção estequiométrica da película fina. O aumento da temperatura pode levar a uma composição mais equilibrada da película, melhorando a sua qualidade global.
4. Morfologia da superfície: A morfologia da superfície da película fina pode ser influenciada pela temperatura do substrato. Temperaturas mais elevadas podem aumentar as reacções superficiais e resultar numa superfície de película mais lisa e uniforme.
5. Valor do intervalo de banda: O aumento da temperatura do substrato também pode afetar o valor do intervalo de banda da película fina. Isto é atribuído às mudanças na fase cristalina, tamanho dos cristais e proporção estequiométrica, que afectam as propriedades electrónicas da película.
6. Densidade de defeitos: O aumento da temperatura do substrato pode ajudar a compensar as ligações suspensas na superfície da película, levando a uma diminuição da densidade de defeitos. Este facto melhora a qualidade global da película.
7. Adesão, cristalinidade e tensão: A temperatura do substrato é um parâmetro importante que afecta a adesão, a cristalinidade e a tensão da película fina depositada. Ao otimizar a temperatura, é possível obter a qualidade e as propriedades desejadas da película.
8. Taxa de deposição: A taxa a que o material pulverizado é depositado no substrato, conhecida como taxa de deposição, pode ser influenciada pela temperatura do substrato. A otimização da taxa de deposição ajuda a obter a espessura e a uniformidade desejadas da película.
Em resumo, a temperatura do substrato desempenha um papel crucial na determinação da estrutura cristalina, da morfologia da superfície, da estequiometria e das propriedades electrónicas da película fina. Ao controlar a temperatura do substrato, os investigadores e engenheiros podem adaptar as propriedades da película para satisfazer os requisitos específicos de várias aplicações.
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