A deposição química em fase vapor (CVD) é uma técnica amplamente utilizada no fabrico de semicondutores. Envolve a deposição de materiais sólidos de alta qualidade e elevado desempenho num substrato, normalmente sob a forma de películas finas ou revestimentos. Este processo é crucial no fabrico de dispositivos semicondutores, incluindo circuitos integrados, microprocessadores e chips de memória.
5 pontos-chave explicados
1. Visão geral do processo
Na CVD, o substrato, frequentemente uma pastilha de semicondutor, é exposto a precursores voláteis. Estes gases reagem e decompõem-se na superfície do substrato, depositando o material desejado. O processo ocorre normalmente em condições de vácuo para controlar o ambiente e aumentar a pureza e a qualidade do material depositado.
2. Aplicações no fabrico de semicondutores
A CVD é amplamente utilizada no fabrico da tecnologia de semicondutores de óxidos metálicos complementares (CMOS), que constitui a espinha dorsal da eletrónica moderna. É também crucial na produção de células solares, em que as camadas de silício são cultivadas em substratos monocristalinos utilizando a CVD.
3. Tipos de materiais depositados
A CVD pode depositar uma variedade de materiais, incluindo materiais isolantes, materiais metálicos e ligas metálicas. Por exemplo, o nitreto de silício (Si3N4) é normalmente depositado por CVD através da reação de silano e azoto.
4. Importância na microfabricação
Na microfabricação, a CVD é utilizada para depositar materiais em várias formas, como policristalina, monocristalina, epitaxial e amorfa. Esta versatilidade permite a criação de estruturas e camadas complexas necessárias para dispositivos semicondutores avançados.
5. Escalabilidade e acessibilidade
Embora os sistemas comerciais de CVD possam ser dispendiosos, está em curso uma investigação para tornar a CVD mais acessível, como os projectos de código aberto para sistemas de CVD utilizados na síntese de materiais 2D. Esta democratização da tecnologia tem como objetivo reduzir as barreiras para grupos de investigação e empresas em fase de arranque.
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