A deposição por feixe de electrões é um processo utilizado para criar películas finas através da evaporação de materiais no vácuo.
O processo envolve a utilização de um feixe de electrões focado para aquecer o material num cadinho, provocando a sua evaporação e subsequente condensação num substrato.
Explicação das 5 etapas principais
1. Geração do feixe de electrões
O feixe de electrões é gerado num canhão de electrões, normalmente utilizando um filamento de tungsténio aquecido por uma corrente eléctrica.
Este aquecimento provoca uma emissão termiónica, libertando os electrões que formam o feixe.
2. Focalização e deflexão do feixe de electrões
O feixe de electrões é então focado e dirigido, através de ímanes, pela câmara de vácuo para o cadinho que contém o material a evaporar.
3. Evaporação do material
Quando o feixe de electrões atinge o material, a sua energia cinética é convertida em calor, fazendo com que o material derreta (no caso de metais como o alumínio) ou sublime (no caso da cerâmica).
4. Deposição no substrato
O material evaporado sai do cadinho e deposita-se como uma película fina no substrato colocado acima do cadinho dentro da câmara de vácuo.
5. Controlo e melhoramento
O processo pode ser controlado com precisão utilizando sistemas informáticos para gerir o aquecimento, os níveis de vácuo, a localização do substrato e a rotação.
Além disso, pode ser utilizada a assistência de feixes de iões para melhorar a aderência e a densidade da película depositada.
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