A deposição de película fina por evaporação térmica é um método de deposição física de vapor (PVD).
Neste processo, um material sólido é aquecido a altas temperaturas num ambiente de alto vácuo.
Isto faz com que o material se evapore e, subsequentemente, se condense num substrato para formar uma película fina.
Este processo é amplamente utilizado nas indústrias para aplicações como a criação de camadas de ligação de metal em células solares, transístores de película fina, bolachas de semicondutores e OLEDs à base de carbono.
O que é a evaporação térmica de deposição de película fina? 5 pontos-chave explicados
1. Evaporação
O processo começa com o aquecimento do material alvo num cadinho ligado a uma fonte de alta corrente.
Este aquecimento é efectuado em condições de alto vácuo, normalmente a pressões que variam entre 10^(-6) e 10^(-5) mbar.
A temperatura elevada provoca a evaporação do material, transformando-o em vapor.
2. Transporte
O material evaporado é então transportado através do vácuo para o substrato.
O ambiente de vácuo é crucial, pois garante que apenas o vapor do material desejado chegue ao substrato, mantendo a pureza e a integridade do processo de deposição.
3. Condensação
Quando o vapor atinge o substrato, condensa-se para formar uma película fina.
Esta película pode ser uma única camada de um único material ou pode envolver a co-deposição de múltiplos materiais para formar estruturas complexas.
4. Repetibilidade e crescimento
O processo pode ser repetido várias vezes para fazer crescer a película fina até à espessura desejada.
Cada ciclo contribui para a nucleação e o crescimento da película, permitindo um controlo preciso das propriedades e da espessura da película.
5. Vantagens e aplicações
A evaporação térmica é favorecida pela sua elevada taxa de deposição e eficiência de utilização do material, tornando-a vantajosa em relação a outros métodos em determinadas aplicações de película fina.
É particularmente útil em indústrias onde são necessários revestimentos precisos e de alta qualidade, como na ótica, eletrónica e células solares.
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