Conhecimento Qual é a diferença entre a evaporação térmica e a evaporação por feixe de electrões?
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Atualizada há 3 meses

Qual é a diferença entre a evaporação térmica e a evaporação por feixe de electrões?

A principal diferença entre a evaporação térmica e a evaporação por feixe eletrónico é o método utilizado para aquecer e vaporizar o material de origem. Na evaporação térmica, é utilizado um "barco" resistivo para aquecer o material de origem, fazendo passar uma corrente eléctrica elevada através dele. O calor provoca a fusão e a evaporação do material, que depois se condensa num substrato para formar uma película fina. Por outro lado, a evaporação por feixe eletrónico utiliza um feixe de electrões de alta energia para aquecer e vaporizar diretamente o material de origem. Os electrões são criados por um filamento de tungsténio e acelerados em direção ao material alvo, fazendo com que este se evapore e se condense no substrato.

A evaporação térmica é adequada para materiais que requerem uma temperatura de fusão mais baixa, tanto metálicos como não metálicos, enquanto a evaporação por feixe eletrónico pode lidar com materiais a temperaturas mais elevadas, como os óxidos. A evaporação por feixe eletrónico também tem uma taxa de deposição mais elevada em comparação com a evaporação térmica.

Outra diferença são os revestimentos de película fina resultantes. A evaporação térmica tende a produzir revestimentos de película fina menos densos, enquanto a evaporação por feixe eletrónico pode atingir uma densidade mais elevada. Isto deve-se aos diferentes mecanismos de aquecimento e à capacidade da evaporação por feixe eletrónico de fornecer uma maior energia ao material evaporado.

Existe também uma diferença no risco de impurezas. A evaporação térmica apresenta um maior risco de impurezas devido ao facto de o cadinho ser aquecido, o que pode levar à contaminação do material evaporado. A evaporação por feixe de electrões, por outro lado, permite obter películas finas de maior pureza devido ao aquecimento direto do material de origem pelo feixe de electrões.

Em resumo, a evaporação térmica e a evaporação por feixe de electrões são ambos métodos utilizados para depositar películas finas, mas diferem nos seus mecanismos de aquecimento e nas propriedades das películas finas resultantes. A evaporação térmica utiliza uma corrente eléctrica para aquecer o material de origem num cadinho, enquanto a evaporação por feixe de electrões utiliza um feixe de electrões de alta energia. A evaporação térmica é adequada para materiais a temperaturas mais baixas, enquanto a evaporação por feixe de electrões pode tratar materiais a temperaturas mais elevadas. A evaporação por feixe eletrónico tem uma taxa de deposição mais elevada, produz revestimentos de película fina mais densos e tem um menor risco de impurezas em comparação com a evaporação térmica.

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