Duas formas comuns de aquecer o material de origem na evaporação são o aquecimento resistivo e o aquecimento por feixe de electrões.
1. Aquecimento resistivo: Este método envolve a utilização de um elemento de aquecimento ou filamento para aquecer o material de origem. O filamento, feito de materiais como o tungsténio, o molibdénio, o quartzo ou a grafite, é aquecido até ao seu ponto de fusão através da passagem de uma grande corrente através de um fio ou folha resistiva que contém o material metálico. medida que o filamento aquece, o material de origem também aquece e acaba por se evaporar ou sublimar num vapor.
2. Aquecimento por feixe de electrões: Neste método, é utilizado um feixe de electrões para aquecer o material de base. O feixe de electrões, gerado por um canhão de electrões, é apontado ao material de origem, provocando o seu aquecimento e a sua evaporação ou sublimação. A evaporação por feixe de electrões proporciona um controlo preciso do processo de aquecimento e permite taxas de deposição elevadas.
Estes dois mecanismos de aquecimento são normalmente utilizados nos processos de evaporação para aquecer o material de origem a temperaturas elevadas, fazendo com que este se vaporize e se condense no substrato. Cada método tem as suas vantagens e é selecionado com base em factores como o material de revestimento, a taxa de deposição, a qualidade do revestimento e o controlo da espessura da película.
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