Quando se trata de criar películas finas, dois métodos comuns são a evaporação térmica e a evaporação por feixe de electrões.
Estes métodos diferem principalmente na forma como vaporizam o material.
1. Método de aquecimento
Evaporação térmica: Este método utiliza uma corrente eléctrica para aquecer um cadinho.
O cadinho contém o material que precisa de ser vaporizado.
À medida que o cadinho aquece, o material no seu interior derrete e depois evapora-se.
Evaporação por feixe de electrões: Este método utiliza um feixe de electrões de alta energia para aquecer diretamente o material.
Os electrões de alta energia aquecem o material a uma temperatura elevada, provocando a sua evaporação.
2. Adequação do material
Evaporação térmica: Este método é melhor para materiais que têm pontos de fusão mais baixos.
Os exemplos incluem metais e não metais.
Evaporação por feixe de electrões: Este método pode tratar materiais com pontos de fusão mais elevados.
É particularmente bom para metais refractários como o tungsténio, o tântalo ou a grafite.
3. Pureza e impurezas
Evaporação térmica: Este método pode resultar em revestimentos de película fina menos densos.
Há também um maior risco de impurezas porque o cadinho é aquecido.
Evaporação por feixe de electrões: Este método resulta geralmente em películas de maior pureza.
O aquecimento localizado e a ausência de aquecimento do cadinho reduzem o risco de impurezas.
4. Taxa de deposição
Evaporação térmica: A taxa de deposição é geralmente mais baixa em comparação com a evaporação por feixe de electrões.
Evaporação por feixe de electrões: Este método oferece taxas de deposição mais elevadas.
5. Complexidade e custo
Evaporação térmica: Este método é mais simples e menos dispendioso.
Evaporação por feixe de electrões: Este método requer uma eletrónica complexa e dispendiosa.
Também necessita de caraterísticas de segurança avançadas.
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