Conhecimento Qual é a diferença entre a evaporação térmica e a evaporação por feixe de electrões? (5 pontos-chave)
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Atualizada há 2 meses

Qual é a diferença entre a evaporação térmica e a evaporação por feixe de electrões? (5 pontos-chave)

Quando se trata de criar películas finas, dois métodos comuns são a evaporação térmica e a evaporação por feixe de electrões.

Estes métodos diferem principalmente na forma como vaporizam o material.

1. Método de aquecimento

Qual é a diferença entre a evaporação térmica e a evaporação por feixe de electrões? (5 pontos-chave)

Evaporação térmica: Este método utiliza uma corrente eléctrica para aquecer um cadinho.

O cadinho contém o material que precisa de ser vaporizado.

À medida que o cadinho aquece, o material no seu interior derrete e depois evapora-se.

Evaporação por feixe de electrões: Este método utiliza um feixe de electrões de alta energia para aquecer diretamente o material.

Os electrões de alta energia aquecem o material a uma temperatura elevada, provocando a sua evaporação.

2. Adequação do material

Evaporação térmica: Este método é melhor para materiais que têm pontos de fusão mais baixos.

Os exemplos incluem metais e não metais.

Evaporação por feixe de electrões: Este método pode tratar materiais com pontos de fusão mais elevados.

É particularmente bom para metais refractários como o tungsténio, o tântalo ou a grafite.

3. Pureza e impurezas

Evaporação térmica: Este método pode resultar em revestimentos de película fina menos densos.

Há também um maior risco de impurezas porque o cadinho é aquecido.

Evaporação por feixe de electrões: Este método resulta geralmente em películas de maior pureza.

O aquecimento localizado e a ausência de aquecimento do cadinho reduzem o risco de impurezas.

4. Taxa de deposição

Evaporação térmica: A taxa de deposição é geralmente mais baixa em comparação com a evaporação por feixe de electrões.

Evaporação por feixe de electrões: Este método oferece taxas de deposição mais elevadas.

5. Complexidade e custo

Evaporação térmica: Este método é mais simples e menos dispendioso.

Evaporação por feixe de electrões: Este método requer uma eletrónica complexa e dispendiosa.

Também necessita de caraterísticas de segurança avançadas.

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