A pulverização catódica de corrente contínua e a pulverização catódica por magnetrão de corrente contínua são ambas técnicas utilizadas para a deposição de películas finas.
A principal diferença entre estas duas técnicas reside no tipo de tensão aplicada ao material alvo.
4 Principais diferenças entre a pulverização catódica DC e a pulverização catódica por magnetrão DC
1. Aplicação de tensão
Na pulverização catódica DC, é aplicada uma tensão constante ao material alvo.
Esta técnica é preferida para materiais alvo condutores de eletricidade devido ao seu baixo custo e elevado nível de controlo.
A pulverização catódica DC envolve a utilização de ânodos e cátodos para gerar um ambiente de plasma, juntamente com a utilização de gases inertes e uma potência de pulverização optimizada.
Permite taxas de deposição elevadas e um controlo preciso do processo de deposição.
2. Eficiência do plasma
Por outro lado, a pulverização catódica magnetrónica DC envolve uma câmara de vácuo que contém o material alvo paralelo ao substrato alvo.
É semelhante à pulverização catódica DC em termos da tensão constante aplicada ao alvo.
No entanto, a utilização de um magnetrão na pulverização catódica com magnetrão DC permite uma descarga de plasma mais eficiente e concentrada.
Isto resulta em taxas de pulverização mais elevadas e numa melhor qualidade da película, em comparação com a pulverização catódica tradicional.
3. Deposição multicamada
Uma vantagem notável da pulverização catódica com magnetrões DC é a sua capacidade de depositar estruturas multicamadas.
Isto pode ser conseguido através da utilização de alvos múltiplos ou da rotação do substrato entre alvos diferentes durante o processo de deposição.
Controlando os parâmetros de deposição e a seleção de alvos, podem ser criadas películas multicamadas complexas com propriedades personalizadas para aplicações específicas, tais como revestimentos ópticos ou dispositivos electrónicos avançados.
4. Adequação da aplicação
Em geral, a escolha entre pulverização catódica em corrente contínua e pulverização catódica com magnetrões em corrente contínua depende dos requisitos específicos do processo de deposição de películas finas.
A pulverização catódica DC é mais adequada para materiais alvo condutores de eletricidade, enquanto a pulverização catódica magnetrónica DC oferece uma maior eficiência e a capacidade de depositar estruturas multicamadas.
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