A deposição assistida por plasma é uma técnica de fabrico sofisticada utilizada para depositar películas finas em vários substratos.
Inclui, especificamente, a deposição de vapor químico assistida por plasma (PACVD) e a deposição de vapor químico reforçada por plasma (PECVD).
Estes processos utilizam o plasma, um estado da matéria composto por partículas carregadas, para iniciar e manter reacções químicas que resultam na deposição de material num substrato.
A energia para estas reacções é normalmente fornecida por descargas eléctricas de alta frequência, tais como fontes de radiofrequência, corrente contínua ou micro-ondas.
Explicação das 5 etapas principais
1. Geração de plasma
O processo começa com a geração de plasma dentro de uma câmara de vácuo.
Isto é normalmente conseguido através da aplicação de uma descarga eléctrica entre dois eléctrodos.
A energia desta descarga ioniza o gás, criando um plasma constituído por iões, electrões e radicais livres.
2. Ativação de gases precursores
Os gases precursores, como o silano ou o oxigénio, são introduzidos no plasma.
As partículas de alta energia do plasma colidem com estes gases, separando-os e criando espécies reactivas.
3. Deposição no substrato
Estas espécies reactivas deslocam-se então para o substrato, onde reagem e são absorvidas pela superfície.
Isto resulta no crescimento de uma película fina.
Os subprodutos químicos destas reacções são dessorvidos e removidos da câmara, completando o processo de deposição.
4. Controlo dos parâmetros de deposição
As propriedades da película depositada, como a espessura, a dureza e o índice de refração, podem ser controladas através do ajuste de parâmetros como os caudais de gás e as temperaturas de funcionamento.
Taxas de fluxo de gás mais elevadas aumentam geralmente as taxas de deposição.
5. Versatilidade e aplicações
A deposição assistida por plasma é altamente versátil, capaz de depositar uma vasta gama de materiais, incluindo metais, óxidos, nitretos e polímeros.
Pode ser utilizada em objectos de vários tamanhos e formas, o que a torna adequada para inúmeras aplicações em indústrias como a eletrónica, a ótica e o fabrico.
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