A Deposição Química em Vapor (CVD) é um processo que utiliza substâncias gasosas ou de vapor para reagir e produzir depósitos sólidos num substrato.
Este processo é essencial em várias indústrias, especialmente no fabrico de semicondutores e dispositivos ópticos, para criar películas finas e revestimentos.
Explicação das 6 etapas principais
1. Introdução de gases precursores
A CVD começa com a introdução de gases precursores numa câmara de reação.
Estes gases, frequentemente halogenetos ou hidretos, são escolhidos com base no tipo de película ou revestimento necessário.
2. Reacções químicas
Os gases precursores sofrem reacções químicas entre si ou com a superfície aquecida do substrato.
Estas reacções resultam na formação de um material sólido no substrato.
As reacções podem incluir a decomposição térmica, a síntese química ou o transporte químico, dependendo dos requisitos específicos do processo de deposição.
3. Deposição e formação de película
À medida que os gases reagem, depositam uma camada do material desejado sobre o substrato.
O processo de deposição é influenciado por factores como a temperatura da câmara de reação, que normalmente varia entre 500°C e 1100°C.
4. Controlo das condições ambientais
O processo CVD depende fortemente do controlo das condições ambientais dentro da câmara de reação.
Isto inclui a regulação precisa da pressão, temperatura e caudais de gás.
Estas condições são cruciais para alcançar a qualidade e espessura de película desejadas.
5. Caraterísticas dos depósitos CVD
A CVD é conhecida por produzir películas de alta pureza, densas e de baixa tensão com boa cristalinidade.
O processo pode ser adaptado para revestir uniformemente formas e superfícies complexas, tornando-o versátil para várias aplicações industriais.
6. Processo de ciclo contínuo
A maioria dos processos CVD funciona como sistemas de ciclo contínuo.
Nestes sistemas, os gases de reação são continuamente introduzidos no sistema e os subprodutos são exauridos.
Esta configuração assegura um ambiente de deposição estável e controlado.
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