A evaporação assistida por feixes de iões oferece várias vantagens em relação às técnicas tradicionais de evaporação térmica. Este método, que utiliza frequentemente feixes de electrões, constitui uma alternativa superior para várias aplicações industriais.
Quais são as 8 principais vantagens da evaporação assistida por feixe de iões em relação à técnica de evaporação térmica?
1. Temperatura máxima de evaporação mais elevada
A evaporação assistida por feixe de iões, que utiliza frequentemente feixes de electrões, pode tratar materiais com pontos de fusão mais elevados em comparação com a evaporação térmica.
2. Propriedades melhoradas da película fina
A utilização de uma fonte de assistência de iões em conjunto com a evaporação por feixe de electrões pode melhorar significativamente as propriedades das películas finas depositadas.
3. Maior eficiência na utilização do material
A evaporação por feixe de electrões aquece diretamente o material alvo, conduzindo a uma maior eficiência de utilização do material.
4. Melhor cobertura de passos
A evaporação assistida por feixe de iões proporciona uma melhor cobertura por fases do que outras técnicas de deposição, como a pulverização catódica ou a deposição de vapor químico (CVD).
5. Compatibilidade com uma vasta gama de materiais
Esta técnica é compatível com uma grande variedade de materiais, incluindo metais, cerâmicas e óxidos.
6. Taxas de deposição mais elevadas
Em comparação com a evaporação térmica, a evaporação assistida por feixe de iões oferece geralmente taxas de deposição mais elevadas.
7. Níveis de impureza mais baixos
Uma vez que o aquecimento é direto e não envolve o aquecimento do cadinho, existe um risco reduzido de contaminação do material do cadinho.
8. Controlabilidade e repetibilidade
O processo de evaporação assistida por feixe de iões é altamente controlável e repetível.
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