Os processos de deposição de plasma são um grupo de técnicas avançadas de fabrico utilizadas para depositar películas finas de vários materiais em substratos. Estes processos utilizam plasma, que é um gás altamente ionizado constituído por partículas carregadas, para libertar átomos de um material alvo e depositá-los no substrato.
Existem vários métodos diferentes de deposição de plasma, incluindo a pulverização catódica, a deposição de vapor químico (CVD) e a deposição por feixe de iões. A pulverização catódica envolve três subprocessos: processos que ocorrem no material alvo, no substrato e na massa de plasma entre eles. Na pulverização catódica, os átomos do material alvo são erodidos por partículas carregadas de alta energia no plasma e depois depositados no substrato para formar uma película fina.
A deposição de vapor químico (CVD) é um processo em que a energia do plasma é utilizada, para além da energia térmica, para depositar películas finas. O plasma é criado através da energização de gases reagentes, como o silano ou o oxigénio, utilizando radiofrequência, corrente contínua ou descarga de micro-ondas. O plasma contém iões, electrões livres, radicais, átomos excitados e moléculas que reagem com o substrato para depositar revestimentos de película fina. As películas depositadas podem ser feitas de metais, óxidos, nitretos e polímeros.
A deposição de vapor químico enriquecida com plasma (PECVD) é uma variação da CVD que utiliza especificamente a energia do plasma para depositar películas finas. Envolve a criação de um plasma de gases reactivos, normalmente através de radiofrequência ou descarga de corrente contínua entre eléctrodos. O plasma facilita então as reacções químicas que resultam na deposição de películas finas no substrato.
Em geral, os processos de deposição por plasma oferecem versatilidade e a capacidade de depositar películas finas sobre objectos de diferentes tamanhos e formas. Estes processos desempenham um papel crucial no fabrico avançado e são utilizados em várias indústrias, incluindo a eletrónica, a ótica e a ciência dos materiais.
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