A pulverização catódica com magnetrões é uma técnica amplamente utilizada em várias indústrias para a deposição de revestimentos.
5 razões principais para a utilização da pulverização catódica por magnetrões
1. Maior taxa de deposição
A pulverização catódica de magnetrões é uma técnica de deposição em vácuo de alta velocidade.
Pode depositar materiais em substratos a uma taxa mais rápida em comparação com outros métodos.
Isto é particularmente vantajoso para as indústrias que requerem uma produção em grande escala ou que necessitam de cumprir prazos apertados.
2. Ionização melhorada
A utilização de um campo magnético na pulverização catódica com magnetrões prende os electrões secundários perto do alvo.
Estes electrões seguem trajectórias helicoidais em torno das linhas do campo magnético.
Isto aumenta o número de colisões ionizantes com o gás neutro próximo do alvo.
Esta ionização melhorada conduz a uma taxa de pulverização mais elevada, permitindo uma deposição mais eficiente de átomos no substrato.
3. Funcionamento a baixa pressão
O campo magnético na pulverização catódica por magnetrão permite que o plasma seja mantido a pressões mais baixas.
Este facto tem múltiplas vantagens.
Reduz a incorporação de gás na película, resultando numa maior qualidade da película.
Também minimiza as perdas de energia nos átomos pulverizados.
O funcionamento a baixa pressão ajuda a evitar o sobreaquecimento ou danos no objeto a revestir.
4. Controlo da trajetória de transmissão do plasma
O campo magnético na pulverização catódica por magnetrão controla o percurso de transmissão do plasma.
As linhas magnéticas formadas pelo campo magnético dirigem o plasma de uma extremidade do alvo para a outra.
Este controlo sobre o percurso de transmissão do plasma permite uma deposição eficiente do revestimento.
Ajuda também a manter a superfície de revestimento desejada.
5. Escalabilidade e versatilidade
A pulverização catódica por magnetrão é conhecida pela sua excecional escalabilidade em comparação com outros métodos de deposição física de vapor.
Pode ser utilizada para várias aplicações.
Pode acomodar diferentes configurações geométricas de alvos, tais como formas circulares, rectangulares ou tubulares.
Esta versatilidade faz com que a pulverização catódica por magnetrão seja uma técnica amplamente utilizada em indústrias como a microeletrónica e o vidro arquitetónico.
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