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A evaporação no vácuo é um processo em que um material sólido é aquecido num ambiente de alto vácuo para ser depositado num substrato específico, formando uma película fina. Esta técnica é amplamente utilizada na microeletrónica para criar componentes activos, contactos de dispositivos, interligações metálicas e vários componentes de película fina, como resistências, dieléctricos e eléctrodos.

Explicação pormenorizada:

1. Aquecimento e ambiente de vácuo:

2. Na evaporação a vácuo, o material sólido é aquecido num ambiente de alto vácuo. O vácuo é crucial, uma vez que reduz a pressão atmosférica, o que, por sua vez, diminui o ponto de ebulição do material. Isto permite um processo de evaporação mais controlado e eficiente, uma vez que o material pode ser aquecido a uma temperatura mais baixa para atingir a vaporização.Deposição no substrato:

3. O material evaporado é então depositado num substrato específico. Este substrato pode ser uma bolacha semicondutora ou qualquer outro material em que seja necessária uma película fina. O ambiente controlado do vácuo garante que a deposição é uniforme e livre de contaminantes, o que é essencial para o desempenho da película fina em dispositivos electrónicos.

4. Aplicações em Microeletrónica:

5. A evaporação em vácuo é particularmente útil na microeletrónica. É utilizada para criar películas finas que servem várias funções, tais como formar componentes activos em circuitos, fornecer contactos eléctricos e criar interligações metálicas. Além disso, é utilizada para fabricar resistências de precisão com coeficientes de baixa temperatura e materiais dieléctricos para condensadores.Controlo e eficiência melhorados:

O ambiente de vácuo aumenta o controlo sobre a composição das fases de gás e vapor, permitindo a criação de películas finas muito especializadas, adequadas para revestimentos ópticos e outras aplicações de alta precisão. O processo também é mais eficiente em termos energéticos em comparação com os métodos tradicionais, uma vez que são necessárias temperaturas mais baixas devido à pressão reduzida.