A pulverização catódica por magnetrão é um tipo de deposição física de vapor (PVD) que envolve a utilização de um campo magnético para melhorar o processo de pulverização catódica.
Este método é particularmente útil para depositar películas finas sem a necessidade de fundir ou evaporar o material de origem.
É adequado para uma vasta gama de materiais e substratos.
O que é o método de deposição por pulverização catódica com magnetrões? 4 pontos-chave para compreender
1. Mecanismo de pulverização catódica por magnetrões
Na pulverização catódica por magnetrão, um material alvo é colocado numa câmara de vácuo.
O alvo é bombardeado com partículas de alta energia, normalmente provenientes de um gás inerte como o árgon.
É aplicado um campo magnético perpendicular ao campo elétrico.
Este campo magnético aprisiona os electrões perto da superfície do alvo, criando uma região de plasma denso.
O plasma denso aumenta a ionização do gás de pulverização catódica, conduzindo a uma maior taxa de ejeção do material do alvo.
2. Vantagens da pulverização catódica por magnetrão
Elevadas taxas de deposição: A utilização de um campo magnético aumenta significativamente a taxa a que o material é pulverizado a partir do alvo, tornando o processo mais eficiente.
Compatibilidade com vários materiais: Uma vez que o material de origem não precisa de ser fundido ou evaporado, a pulverização catódica magnetrónica pode ser utilizada com uma vasta gama de materiais, incluindo metais, ligas e compostos.
Carga térmica mínima: O processo não submete o substrato a altas temperaturas, o que é benéfico para materiais sensíveis ao calor.
3. Aplicações da pulverização catódica com magnetrões
A pulverização catódica com magnetrões é amplamente utilizada em várias indústrias para depositar películas finas em substratos.
As aplicações incluem o revestimento de microeletrónica, a modificação das propriedades dos materiais e a adição de películas decorativas aos produtos.
É também utilizada na produção de vidro arquitetónico e noutras aplicações industriais em grande escala.
4. Variações da pulverização catódica com magnetrões
Existem diversas variantes da pulverização catódica com magnetrões, incluindo a pulverização catódica com magnetrões de corrente contínua (CC), a pulverização catódica com pulsos de CC e a pulverização catódica com magnetrões de radiofrequência (RF).
Cada variação é adequada a diferentes materiais e aplicações.
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