A evaporação por feixe de electrões oferece várias vantagens em relação à evaporação térmica, particularmente em aplicações que requerem revestimentos finos e de alta densidade e a utilização de materiais com pontos de fusão elevados.
7 Principais vantagens da evaporação por feixe de electrões em relação à evaporação térmica
1. Elevadas taxas de deposição
A evaporação por feixe de electrões pode atingir taxas de deposição que variam entre 0,1 μm/min e 100 μm/min, o que é significativamente mais rápido do que a evaporação térmica.
2. Películas de elevada pureza
O feixe eletrónico incide apenas no material de origem, o que minimiza o risco de contaminação do cadinho. Isto resulta em películas com um grau de pureza muito elevado.
3. Excelente uniformidade
Ao utilizar máscaras e sistemas planetários, a evaporação por feixe eletrónico proporciona uma excelente uniformidade ao longo do substrato.
4. Compatibilidade com uma vasta gama de materiais
A evaporação por feixe eletrónico é adequada para uma variedade de materiais, incluindo metais de alta temperatura e óxidos metálicos.
5. Deposição de várias camadas
A evaporação por feixe de electrões permite a deposição de várias camadas utilizando diferentes materiais de origem sem necessidade de ventilação.
6. Alta eficiência de utilização de material
O processo de evaporação por feixe eletrónico tem uma elevada eficiência de utilização do material, o que significa que é desperdiçado menos material durante o processo de deposição em comparação com a evaporação térmica.
7. Maior adequação para aplicações avançadas
A evaporação por feixe eletrónico é particularmente vantajosa quando se trata de materiais a alta temperatura, que requerem elevada pureza e uniformidade, e quando são necessárias estruturas multicamadas.
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