A evaporação térmica em vácuo é um processo de deposição utilizado para a formação e crescimento de películas finas em materiais sólidos. Esta técnica é amplamente aplicada em laboratório e na indústria devido à sua simplicidade e eficácia.
Visão geral do processo:
O processo inicia-se submetendo o material alvo a temperaturas muito elevadas, fazendo-o sublimar ou ferver e formar vapor. Este vapor é então transportado para um substrato através de um ambiente de vácuo. Ao atingir o substrato, o vapor condensa-se para formar uma película fina sólida. Este ciclo de deposição pode ser repetido para aumentar o crescimento e a nucleação da película fina.Métodos de revestimento em vácuo por evaporação térmica:
- A evaporação térmica pode ser conseguida através de dois métodos principais:
- Aquecimento elétrico: O material é aquecido eletricamente através de fios ou em cadinhos condutores feitos de materiais com pontos de fusão mais elevados. Este método é adequado para materiais que requerem uma pressão de vapor substancial a altas temperaturas.
Evaporadores em forma de barco: Estes são utilizados especificamente para a evaporação de óxidos. A forma de barco facilita o processo de aquecimento e vaporização.
Sistemas de vácuo para evaporação térmica:
O sistema de vácuo desempenha um papel crucial na qualidade da película fina produzida. A pressão de base necessária no dispositivo de revestimento varia entre 10^-7 e 10^-5 mbar. Os sistemas modernos utilizam normalmente bombas turbomoleculares, que podem evacuar a câmara até à pressão de base necessária no espaço de uma hora. Estas bombas são frequentemente apoiadas por bombas de palhetas rotativas ou outros tipos de bombas secas. É também utilizado um obturador por cima do evaporador para controlar o processo de deposição e garantir a reprodutibilidade das camadas.Aplicações e materiais:
