A evaporação por feixe de electrões é uma técnica de deposição física de vapor (PVD). Utiliza um feixe de electrões focalizado para aquecer e vaporizar o material de origem num ambiente de vácuo. Isto permite a deposição de revestimentos finos e de elevada pureza num substrato.
Como funciona a evaporação por feixe eletrónico? Explicado em 4 passos simples
1. Geração do feixe de electrões
Uma corrente eléctrica de alta tensão (5-10 kV) é passada através de um filamento de tungsténio. Isto aquece-o a altas temperaturas e provoca a emissão termiónica de electrões.
2. Focalização e orientação do feixe
Os electrões emitidos são focados num feixe unificado utilizando campos magnéticos. São então dirigidos para um cadinho que contém o material a ser evaporado.
3. Evaporação do material
O feixe de electrões de alta energia transfere a sua energia para o material no cadinho. Isto faz com que este se evapore ou sublime.
4. Deposição no substrato
O material evaporado viaja através da câmara de vácuo. Deposita-se num substrato posicionado acima do material de origem, formando um revestimento fino e de elevada pureza.
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