A potência de RF é utilizada no processo de pulverização catódica principalmente para facilitar a deposição de materiais isolantes e para gerir a acumulação de carga no material alvo. Segue-se uma explicação pormenorizada:
1. Deposição de materiais isolantes:
A pulverização catódica RF é particularmente eficaz para depositar películas finas de materiais isolantes. Ao contrário da pulverização catódica DC, que se baseia no bombardeamento direto de electrões, a pulverização catódica RF utiliza energia de radiofrequência (RF) para ionizar o gás na câmara. Este processo de ionização é crucial porque os materiais isolantes não conduzem bem a eletricidade, o que os torna inadequados para a pulverização catódica DC, onde é necessário um fluxo contínuo de electrões. A energia de RF, normalmente a uma frequência de 13,56 MHz, cria um plasma que pode pulverizar eficazmente mesmo materiais alvo não condutores.2. Gestão da acumulação de carga:
Um dos maiores desafios na pulverização catódica é a acumulação de carga no material alvo, que pode levar à formação de arcos e a outros problemas de controlo de qualidade. A pulverização catódica por radiofrequência resolve este problema alternando o potencial elétrico da corrente. Durante o meio-ciclo positivo da onda RF, os electrões são atraídos para o alvo, dando-lhe uma polarização negativa e neutralizando qualquer carga positiva. Durante o meio-ciclo negativo, o bombardeamento de iões continua, assegurando uma pulverização contínua. Este processo alternado "limpa" eficazmente a superfície do alvo da acumulação de carga, evitando a formação de arcos e assegurando um processo de pulverização estável.
3. Eficiência e versatilidade:
A pulverização catódica RF pode funcionar a pressões mais baixas (1 a 15 mTorr) mantendo o plasma, o que aumenta a sua eficiência. Esta técnica é versátil e pode ser utilizada para pulverizar uma grande variedade de materiais, incluindo isoladores, metais, ligas e compósitos. A utilização de potência de RF também reduz o risco de efeitos de carga e de formação de arcos, que são problemas comuns na pulverização catódica em corrente contínua, particularmente quando se lida com alvos isolantes.
