A CVD (deposição química em fase vapor) é uma técnica versátil utilizada para depositar uma vasta gama de materiais, incluindo metais, semicondutores, óxidos, nitretos, carbonetos, diamante e polímeros. Estes materiais servem vários objectivos funcionais, tais como aplicações electrónicas, ópticas, mecânicas e ambientais. Os processos de deposição podem ser classificados em CVD térmico, CVD de baixa pressão, CVD enriquecido com plasma e CVD de ultra-alto vácuo, cada um concebido para funcionar em condições específicas para otimizar a deposição de diferentes materiais.
Metais e Semicondutores:
A CVD é amplamente utilizada para depositar metais como o níquel, o tungsténio, o crómio e o carboneto de titânio, que são cruciais para melhorar a resistência à corrosão e ao desgaste. Os semicondutores, tanto os elementares como os compostos, são também habitualmente depositados através de processos CVD, especialmente para o fabrico de dispositivos electrónicos. O desenvolvimento de compostos metalorgânicos voláteis alargou a gama de precursores adequados para estes processos, especialmente em MOCVD (Metal-Organic CVD), que é fundamental para a deposição de películas de semicondutores epitaxiais.Óxidos, nitretos e carbonetos:
Estes materiais são depositados utilizando CVD para várias aplicações devido às suas propriedades únicas. Por exemplo, os óxidos como o Al2O3 e o Cr2O3 são utilizados pelas suas propriedades de isolamento térmico e elétrico, enquanto os nitretos e os carbonetos proporcionam dureza e resistência ao desgaste. Os processos CVD permitem o controlo preciso da deposição destes materiais, garantindo películas de alta qualidade.
Diamante e Polímeros:
A CVD também é utilizada para depositar películas de diamante, que são valorizadas pela sua excecional dureza e condutividade térmica. Os polímeros depositados por CVD são utilizados em aplicações como implantes de dispositivos biomédicos, placas de circuitos e revestimentos lubrificantes duradouros. O processo pode produzir esses materiais em diferentes microestruturas, incluindo monocristalina, policristalina e amorfa, dependendo dos requisitos da aplicação.
Técnicas e condições de deposição:
