A evaporação sob vácuo é um método utilizado na microeletrónica e no fabrico para depositar películas finas de material sobre um substrato.
Este processo envolve o aquecimento de um material sólido, conhecido como evaporante, num ambiente de alto vácuo até derreter, evaporar ou sublimar num vapor.
O material vaporizado condensa-se então num substrato específico, formando uma camada fina do material de origem.
Este método é particularmente útil para criar componentes activos, contactos de dispositivos, interligações metálicas e vários tipos de películas finas, como resistências, dieléctricos e eléctrodos para condensadores.
5 Pontos-chave explicados
1. Ambiente de alto vácuo
O processo de evaporação a vácuo ocorre normalmente numa câmara de alto vácuo.
Isto minimiza as colisões de gases e as reacções indesejadas do material de origem à medida que este se desloca para o substrato.
As condições de vácuo variam normalmente entre 10^-5 e 10^-9 Torr, dependendo do nível de contaminação que pode ser tolerado na película depositada.
2. Aquecimento do material de origem
Para conseguir a evaporação, o material de origem é aquecido a uma temperatura em que a sua pressão de vapor atinge pelo menos 10 mTorr.
Esse aquecimento pode ser realizado através de vários métodos, incluindo fios trançados aquecidos resistivamente, barcos ou cadinhos para materiais que vaporizam a temperaturas abaixo de 1.500°C.
Para os materiais que se vaporizam a temperaturas mais elevadas, são utilizados feixes de electrões de alta energia.
3. Trajetória em linha de visão
O material vaporizado viaja numa trajetória de linha de visão.
Isto significa que se deposita em superfícies que estão dentro do seu caminho direto na câmara.
4. Aplicações em microeletrónica
A evaporação em vácuo é crucial para o fabrico de componentes e dispositivos electrónicos.
É utilizada para criar componentes activos, contactos de dispositivos, interligações metálicas e vários tipos de películas finas.
5. Garantir a pureza e a qualidade
O ambiente de alto vácuo e os métodos de aquecimento específicos garantem a pureza e a qualidade das películas depositadas.
Isto torna a evaporação a vácuo uma técnica essencial no fabrico moderno de produtos electrónicos.
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