O processo térmico de evaporação é um método utilizado para vaporizar um material, aquecendo-o a uma temperatura em que a pressão de vapor se torna significativa.
Este processo provoca a perda de átomos ou moléculas da superfície do material no vácuo.
O material pode estar no estado líquido ou sólido antes de ocorrer a evaporação.
5 etapas principais explicadas
1. Aquecimento do material alvo
O material alvo é sujeito a temperaturas muito elevadas, quer através de sublimação ou ebulição, para criar um vapor.
2. Transporte do vapor
O material vaporizado é transportado para o substrato através de um ambiente de vácuo.
3. Condensação no substrato
O vapor condensa-se na superfície do substrato, formando uma película fina sólida.
4. Repetição do processo
O processo de deposição pode ser repetido para obter um maior crescimento e nucleação da película fina.
5. Utilização do aquecimento por efeito de Joule
O processo baseia-se no aquecimento por efeito de joule de um barco resistivo para aquecer o material até ao seu ponto de evaporação e, em seguida, as moléculas vaporizadas viajam da fonte para o substrato para formar um revestimento de película fina.
A evaporação térmica é uma técnica popular devido à sua simplicidade e versatilidade.
Pode ser utilizada para depositar uma vasta gama de materiais, incluindo alumínio, prata, níquel, crómio e magnésio, entre outros.
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