O processo térmico de evaporação envolve a vaporização de um material através do seu aquecimento a uma temperatura em que a pressão de vapor se torna apreciável. Isto faz com que os átomos ou moléculas se percam da superfície do material no vácuo. O material pode estar no estado líquido ou sólido antes de ocorrer a evaporação.
Durante a evaporação térmica, o material é aquecido e, quando atinge uma temperatura suficientemente elevada, evapora-se. O material evaporado condensa-se então num substrato sob a forma de películas finas. O substrato é mantido a uma temperatura mais baixa do que a do material de origem para facilitar o processo de condensação.
O processo de evaporação térmica é normalmente utilizado para a formação e crescimento de películas finas na superfície de materiais sólidos. Continua a ser amplamente utilizado em laboratório e na indústria para a deposição de películas finas. Os passos básicos envolvidos na evaporação térmica são os seguintes:
1. O material alvo é sujeito a temperaturas muito elevadas, quer por sublimação quer por ebulição, para criar um vapor.
2. O material vaporizado é transportado para o substrato através de um ambiente de vácuo.
3. O vapor condensa-se na superfície do substrato, formando uma película fina sólida.
4. O processo de deposição pode ser repetido para obter um maior crescimento e nucleação da película fina.
A evaporação térmica é uma técnica popular devido à sua simplicidade e versatilidade. Pode ser utilizada para depositar uma vasta gama de materiais, incluindo alumínio, prata, níquel, crómio e magnésio, entre outros. O processo baseia-se no aquecimento joule de um barco resistivo para aquecer o material até ao seu ponto de evaporação e, em seguida, as moléculas vaporizadas viajam da fonte para o substrato para formar um revestimento de película fina.
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