Conhecimento O que é o processo de pulverização catódica no SEM?
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Equipe técnica · Kintek Solution

Atualizada há 1 semana

O que é o processo de pulverização catódica no SEM?

O processo de pulverização catódica no MEV envolve a aplicação de um revestimento ultrafino de metal condutor de eletricidade em amostras não condutoras ou pouco condutoras. Esta técnica é crucial para evitar o carregamento da amostra devido à acumulação de campos eléctricos estáticos e para melhorar a deteção de electrões secundários, melhorando assim a relação sinal/ruído na imagem SEM.

Explicação pormenorizada:

  1. Objetivo do revestimento por pulverização catódica:

  2. O revestimento por pulverização catódica é utilizado principalmente para preparar amostras não condutoras para microscopia eletrónica de varrimento (SEM). No MEV, a amostra deve ser eletricamente condutora para permitir o fluxo de elétrons sem causar carga elétrica. Os materiais não condutores, tais como amostras biológicas, cerâmicas ou polímeros, podem acumular campos eléctricos estáticos quando expostos ao feixe de electrões, o que distorce a imagem e pode danificar a amostra. Ao revestir estas amostras com uma fina camada de metal (normalmente ouro, ouro/paládio, platina, prata, crómio ou irídio), a superfície torna-se condutora, evitando a acumulação de carga e garantindo uma imagem nítida e sem distorções.Mecanismo de Sputtering:

    • O processo de pulverização catódica envolve a colocação da amostra numa máquina de pulverização catódica, que é uma câmara selada. Dentro desta câmara, partículas energéticas (normalmente iões) são aceleradas e dirigidas para um material alvo (o metal a ser depositado). O impacto destas partículas ejecta átomos da superfície do alvo. Estes átomos ejectados viajam então através da câmara e depositam-se na amostra, formando uma película fina. Este método é particularmente eficaz para revestir superfícies complexas e tridimensionais, tornando-o ideal para MEV, onde as amostras podem ter geometrias intrincadas.Benefícios do revestimento por pulverização catódica para MEV:
    • Prevenção de carregamento: Ao tornar a superfície condutora, o revestimento por pulverização evita o acúmulo de carga na amostra, que de outra forma interferiria no feixe de elétrons e distorceria a imagem.
    • Melhoria da relação sinal/ruído: O revestimento metálico aumenta a emissão de electrões secundários da superfície da amostra quando esta é atingida pelo feixe de electrões. Este aumento na emissão de electrões secundários aumenta a relação sinal/ruído, melhorando a qualidade e a clareza das imagens SEM.
  3. Preservação da integridade da amostra: Sputtering é um processo de baixa temperatura, o que significa que pode ser usado em materiais sensíveis ao calor sem causar danos térmicos. Isso é particularmente importante para amostras biológicas, que podem ser preservadas em seu estado natural enquanto são preparadas para MEV.

Especificações técnicas:

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