A frequência do Mpcvd é de 2,45 GHz. Esta é a frequência a que funciona o gerador de micro-ondas no sistema MPCVD. A radiação de micro-ondas é utilizada para gerar plasma na câmara de vácuo, criando um ambiente ideal para a deposição de diamante. Os electrões no plasma absorvem a energia da radiação de micro-ondas, atingindo temperaturas até 5273 K. As frequências de micro-ondas mais utilizadas para este método são 2,45 GHz e 915 MHz.
O método MPCVD tem várias vantagens sobre outros métodos de síntese de diamante. Em comparação com o método DC-PJ CVD, o MPCVD permite um ajuste suave e contínuo da potência de micro-ondas e um controlo estável da temperatura de reação. Isto ajuda a evitar o problema das sementes de cristal que caem do substrato devido ao arco voltaico e à falha da chama. Ajustando a estrutura da câmara de reação e controlando a potência e a pressão de micro-ondas, é possível obter uma grande área de plasma de descarga estável, o que é necessário para a produção de diamantes monocristalinos de alta qualidade e de grandes dimensões. Por conseguinte, o método MPCVD é considerado o método de síntese de diamantes mais prometedor para aplicações industriais.
Para além das suas vantagens na síntese de diamantes, o método MPCVD é também utilizado noutras aplicações, como o fabrico de grafeno. A frequência de 2,45 GHz é utilizada na conceção de câmaras MPECVD para sistemas de produção de células de película fina. A colocação das ranhuras na câmara afecta o modo de ressonância, com as posições central e inferior a produzirem os modos TE111 e TM011, respetivamente, a 2,45 GHz.
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