A deposição física de vapor (PVD) é uma técnica utilizada para criar películas finas em vários materiais. Um exemplo comum de PVD é a evaporação térmica.
Explicação das 4 etapas principais
1. Aquecimento do material sólido
Na evaporação térmica, um material sólido, frequentemente um metal como o alumínio ou a prata, é colocado dentro de uma câmara de alto vácuo.
Esta câmara foi concebida para remover a maior parte do ar e criar um ambiente de baixa pressão.
O material é então aquecido, normalmente até ao seu ponto de fusão, utilizando um elemento de aquecimento ou um feixe de electrões.
2. Formação de vapor
À medida que o material aquece, começa a evaporar-se, formando um vapor.
No vácuo da câmara, mesmo uma pressão de vapor relativamente baixa é suficiente para criar uma nuvem de vapor visível dentro da câmara de deposição.
3. Transporte e deposição
O material evaporado forma um fluxo de vapor que se move através da câmara e condensa ao entrar em contacto com a superfície mais fria do substrato.
O substrato, que pode ser feito de materiais como quartzo, vidro ou silício, é posicionado de forma a que o vapor se possa depositar na sua superfície.
O substrato é normalmente mantido invertido no topo da câmara, com a sua superfície virada para baixo, na direção do material aquecido.
4. Formação de película fina
O vapor condensado forma uma película fina sobre o substrato.
A espessura desta película pode variar entre angstroms e microns, dependendo dos requisitos específicos da aplicação.
Esta película fina pode proporcionar várias funcionalidades, tais como maior durabilidade, condutividade ou propriedades ópticas, dependendo do material utilizado e da aplicação.
Este processo é uma demonstração clara de PVD, em que a deposição de material num substrato é conseguida através de meios puramente físicos, sem o envolvimento de quaisquer reacções químicas.
Este método é amplamente utilizado na indústria eletrónica para depositar camadas condutoras em dispositivos semicondutores e no fabrico de revestimentos ópticos e camadas protectoras em vários materiais.
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