Um exemplo de deposição física de vapor (PVD) é o processo de evaporação térmica, em que um material sólido é aquecido numa câmara de alto vácuo para formar um vapor que depois se deposita num substrato como uma película fina.
Explicação:
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Aquecimento do material sólido: Na evaporação térmica, o material sólido, frequentemente um metal como o alumínio ou a prata, é colocado dentro de uma câmara de alto vácuo. Esta câmara foi concebida para remover a maior parte do ar e criar um ambiente de baixa pressão. O material é então aquecido, normalmente até ao seu ponto de fusão, utilizando um elemento de aquecimento ou um feixe de electrões.
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Formação de vapor: À medida que o material aquece, começa a evaporar-se, formando um vapor. No vácuo da câmara, mesmo uma pressão de vapor relativamente baixa é suficiente para criar uma nuvem de vapor visível dentro da câmara de deposição.
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Transporte e deposição: O material evaporado forma um fluxo de vapor que se move através da câmara e condensa ao entrar em contacto com a superfície mais fria do substrato. O substrato, que pode ser feito de materiais como quartzo, vidro ou silício, é posicionado de forma a que o vapor se possa depositar na sua superfície. O substrato é normalmente mantido invertido no topo da câmara, com a sua superfície virada para baixo em direção ao material de origem aquecido.
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Formação de película fina: O vapor condensado forma uma película fina sobre o substrato. A espessura desta película pode variar entre angstroms e microns, dependendo dos requisitos específicos da aplicação. Esta película fina pode proporcionar várias funcionalidades, tais como maior durabilidade, condutividade ou propriedades ópticas, dependendo do material utilizado e da aplicação.
Este processo é uma demonstração clara de PVD, em que a deposição de material num substrato é conseguida através de meios puramente físicos, sem o envolvimento de quaisquer reacções químicas. Este método é amplamente utilizado na indústria eletrónica para a deposição de camadas condutoras em dispositivos semicondutores e no fabrico de revestimentos ópticos e camadas protectoras em vários materiais.
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