Na pulverização catódica por radiofrequência, a frequência utilizada situa-se normalmente na gama de 5-30 MHz.
No entanto, a frequência mais comum é 13,56 MHz.
Esta frequência é escolhida porque é atribuída para instrumentos industriais, científicos e médicos (ISM) pelos regulamentos de rádio da UIT.
Esta afetação garante que não interfere com os serviços de telecomunicações.
Além disso, a frequência de 13,56 MHz é suficientemente baixa para permitir tempo suficiente para a transferência de momento dos iões de árgon para o alvo.
Isto é crucial para o processo de pulverização catódica.
Porquê 13,56 MHz? 4 razões estratégicas
1. Atribuição da banda ISM
A União Internacional de Telecomunicações (UIT) designou 13,56 MHz como parte da banda ISM.
Esta banda destina-se especificamente a aplicações industriais, científicas e médicas.
Esta designação ajuda a evitar interferências com outras comunicações de radiofrequência.
Garante que o processo de pulverização catódica pode funcionar sem perturbar ou ser perturbado por outras tecnologias baseadas em RF.
2. Eficiência de transferência de momento
A esta frequência, a escala de tempo é propícia à transferência eficiente de momento dos iões de árgon para o material alvo.
Isto é fundamental porque, se a frequência fosse mais elevada, os iões não teriam tempo suficiente para transferir eficazmente o seu momento.
Isto poderia levar a uma pulverização menos eficiente.
3. Dinâmica dos electrões
A frequência de 13,56 MHz é também equilibrada em termos de dinâmica dos electrões.
A frequências mais elevadas, os electrões tornam-se mais dominantes no processo de pulverização catódica.
Isto pode alterar as caraterísticas da deposição, tornando-a mais semelhante à evaporação por feixe de electrões.
Ao utilizar 13,56 MHz, o processo mantém um equilíbrio em que tanto os iões como os electrões desempenham papéis significativos.
No entanto, os iões não são imobilizados, garantindo uma pulverização eficaz.
4. Conformidade regulamentar e considerações práticas
Em resumo, a frequência de 13,56 MHz na pulverização catódica por radiofrequência resulta tanto da conformidade regulamentar como de considerações práticas.
Estas considerações estão relacionadas com a física das interações entre iões e electrões durante o processo de pulverização catódica.
Esta frequência assegura um funcionamento eficiente e sem interferências do sistema de pulverização catódica.
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