Os ímanes são utilizados na pulverização catódica principalmente para aumentar a ionização do plasma perto do alvo, o que aumenta a taxa de pulverização e permite que o plasma seja mantido a pressões mais baixas. Isto é conseguido através da captura de electrões secundários perto do alvo utilizando um campo magnético, fazendo com que os electrões sigam trajectórias helicoidais em torno das linhas do campo magnético e sofram mais colisões ionizantes com moléculas de gás neutro.
Aumento da ionização do plasma:
O campo magnético aprisiona os electrões perto da superfície do alvo, impedindo-os de se afastarem e bombardearem o substrato. Em vez disso, estes electrões seguem trajectórias complexas ditadas pelo campo magnético, o que aumenta significativamente as suas hipóteses de colidir com moléculas de gás neutro e de as ionizar. Este processo conduz a uma maior concentração de iões na proximidade do alvo, o que, por sua vez, acelera a erosão do material do alvo e a sua deposição no substrato.Funcionamento a baixa pressão:
A utilização de ímanes na pulverização catódica por magnetrão permite o funcionamento do sistema a pressões mais baixas. Isto deve-se ao facto de a ionização melhorada perto do alvo devido ao campo magnético significar que são necessárias menos moléculas de gás para sustentar o plasma. Esta redução da pressão de gás necessária é benéfica, uma vez que reduz os custos de funcionamento e a complexidade associada à manutenção de níveis de vácuo elevados.
Proteção do substrato:
Ao controlar o movimento de electrões e iões com o campo magnético, o substrato fica menos exposto ao bombardeamento de iões. Isto é crucial, pois evita danos no substrato, o que é particularmente importante quando se lida com materiais delicados ou quando são necessários acabamentos de superfície de alta qualidade.
Versatilidade na aplicação de materiais:
