As películas finas depositadas por evaporação por feixe de electrões são utilizadas principalmente em aplicações ópticas, tais como painéis solares, óculos e vidro arquitetónico. Este método também é aplicável nas indústrias aeroespacial e automóvel devido à sua capacidade de produzir materiais com resistência a altas temperaturas e ao desgaste.
Processo de evaporação por feixe de electrões:
No processo de evaporação por feixe de electrões, é utilizado um feixe de electrões altamente carregado para evaporar o material alvo. O feixe de electrões é focado no material alvo através da utilização de um campo magnético, e o bombardeamento de electrões gera calor suficiente para evaporar uma vasta gama de materiais, incluindo aqueles com pontos de fusão muito elevados. O material evaporado deposita-se então no substrato, formando a película fina. Este processo é conduzido sob baixa pressão na câmara para evitar que os gases de fundo reajam quimicamente com a película.Aplicações e materiais:
A evaporação por feixe de electrões oferece muitas opções de materiais, incluindo materiais metálicos e dieléctricos. Esta técnica é versátil e pode ser utilizada para vários fins, como aplicações de elevação, óhmicas, de isolamento, condutoras e ópticas. O processo é particularmente favorecido pela sua capacidade de depositar múltiplas camadas, o que é facilitado por fontes como a fonte de quatro bolsas rotativas.
Vantagens e controlo:
Uma das vantagens significativas da evaporação por feixe de electrões é a sua capacidade de controlo e repetição. Também permite a utilização de uma fonte de iões para melhorar as características de desempenho da película fina. O processo é altamente controlável, permitindo a deposição precisa de materiais, o que é crucial para aplicações que requerem propriedades ópticas específicas ou elevada resistência a factores ambientais.
