A deposição por evaporação térmica é um método utilizado na deposição física de vapor (PVD) para criar películas finas num substrato. Este processo envolve o aquecimento de um material numa câmara de alto vácuo a uma temperatura elevada, provocando a sua evaporação e posterior condensação num substrato, formando uma película fina.
Resumo da resposta:
A deposição por evaporação térmica é uma técnica de PVD em que um material é aquecido numa câmara de vácuo para evaporar e depois condensar num substrato, formando uma película fina. Este método é amplamente utilizado na indústria para aplicações como a criação de camadas de ligação de metal em células solares, transístores de película fina e OLEDs.
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Explicação pormenorizada:Configuração do processo:
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O processo começa com uma câmara de vácuo feita de aço inoxidável, contendo um cadinho ou barco feito de materiais refractários como o tungsténio ou o molibdénio. O material a ser depositado (evaporante) é colocado dentro deste cadinho.
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Aquecimento e evaporação:
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O material é aquecido por aquecimento resistivo a temperaturas muito elevadas, o que provoca a sua vaporização. Esta temperatura elevada é necessária para ultrapassar a pressão de vapor do material, permitindo a sua evaporação eficiente.Transporte e deposição:
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O material evaporado forma um vapor que viaja através da câmara de vácuo e se deposita na superfície do substrato. O ambiente de vácuo é crucial, uma vez que impede que o vapor reaja com as moléculas de ar, garantindo uma deposição limpa.
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Condensação e formação de película:
Quando o vapor atinge o substrato, condensa-se para formar uma película fina sólida. A espessura e a uniformidade da película podem ser controladas ajustando a taxa de evaporação e a duração do processo de deposição.Aplicações:
