Os sistemas de evaporação térmica são amplamente utilizados em várias indústrias, mas têm um inconveniente significativo.
3 pontos-chave sobre as principais desvantagens dos sistemas de evaporação térmica
1. Altos níveis de impureza
Os sistemas de evaporação térmica resultam frequentemente em elevados níveis de impureza.
Isto deve-se principalmente ao facto de o processo envolver o aquecimento do material de origem a temperaturas muito elevadas numa câmara de vácuo.
Durante este aquecimento, quaisquer impurezas ou contaminantes no material de origem podem também evaporar-se e tornar-se parte da película depositada.
Este facto pode dar origem a películas de má qualidade, o que é problemático para aplicações que exijam um elevado grau de pureza.
2. Películas de baixa densidade
As películas produzidas por evaporação térmica têm frequentemente baixa densidade.
Isto significa que podem não aderir bem ao substrato e podem ser porosas.
A porosidade pode afetar as propriedades mecânicas e eléctricas da película.
A baixa densidade também contribui para níveis elevados de impurezas, uma vez que os poros podem reter as impurezas ou permitir a sua migração através da película.
3. Mitigação com Ion-Assist
Embora a evaporação térmica produza inerentemente películas com estas desvantagens, a utilização de fontes de assistência iónica pode ajudar a melhorar a situação.
A assistência iónica consiste em bombardear a película depositada com iões, o que pode aumentar a densidade e reduzir a porosidade da película.
Este processo pode também ajudar a remover ou reduzir as impurezas, melhorando assim a qualidade geral da película.
No entanto, a adição de fontes de assistência iónica aumenta a complexidade e o custo do sistema, o que pode não ser viável para todas as aplicações.
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