O revestimento por pulverização catódica para SEM envolve a aplicação de uma camada de metal ultrafina e condutora de eletricidade em amostras não condutoras ou pouco condutoras para evitar o carregamento e melhorar a qualidade da imagem. Este processo utiliza metais como o ouro, a platina, a prata ou o crómio, normalmente com espessuras de 2-20 nm. As vantagens incluem a redução dos danos provocados pelo feixe, a melhoria da condução térmica, a diminuição do carregamento das amostras, o aumento da emissão de electrões secundários, uma melhor resolução dos bordos e a proteção de amostras sensíveis ao feixe.
Explicação pormenorizada:
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Aplicação de revestimentos metálicos:
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O revestimento por pulverização catódica envolve a deposição de uma fina camada de metal sobre uma amostra. Isto é crucial para amostras que não são condutoras de eletricidade, pois de outra forma acumulariam campos eléctricos estáticos durante a análise de microscopia eletrónica de varrimento (SEM). Os metais normalmente utilizados para este fim incluem o ouro, a platina, a prata, o crómio e outros, escolhidos pela sua condutividade e capacidade de formar películas finas e estáveis.Prevenção do carregamento:
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Os materiais não condutores num SEM podem desenvolver uma carga devido à interação com o feixe de electrões, o que pode distorcer a imagem e interferir com a análise. A camada de metal condutor aplicada através do revestimento por pulverização catódica ajuda a dissipar esta carga, garantindo uma imagem clara e precisa.
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Melhoria da emissão de electrões secundários:
- O revestimento de metal também melhora a emissão de electrões secundários da superfície do espécime. Estes electrões secundários são cruciais para a obtenção de imagens no SEM, e o aumento da sua emissão melhora a relação sinal/ruído, conduzindo a imagens mais claras e detalhadas.
- Benefícios para as amostras de SEM:Redução dos danos causados pelo feixe do microscópio:
- O revestimento de metal ajuda a proteger a amostra dos efeitos prejudiciais do feixe de electrões.Aumento da condução térmica:
- A camada condutora ajuda a dissipar o calor gerado pelo feixe de electrões, protegendo a amostra de danos térmicos.Redução do carregamento da amostra:
- Como mencionado, a camada condutora evita a acumulação de cargas electrostáticas.Melhoria da emissão de electrões secundários:
- Isto melhora diretamente a qualidade das imagens SEM.Penetração reduzida do feixe com resolução de bordas melhorada:
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A fina camada metálica reduz a profundidade de penetração do feixe de electrões, melhorando a resolução de arestas e detalhes finos na imagem.Proteção para espécimes sensíveis ao feixe:
O revestimento actua como um escudo para materiais sensíveis, evitando a exposição direta ao feixe de electrões.
Espessura dos filmes pulverizados:
